Gebraucht VEECO Gen II #9173265 zu verkaufen
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ID: 9173265
MBE Growth system
Chamber with (8) source flange size 4.5”
Sources: Al, Ga, In, Be, Si, GaTe, As, Sb
(2) Ion pumps:
Main chamber (600 l/m)
Preparation chamber (400 l/m) with (2) power supplies
CTI8 Cryo pump for main chamber
6” Turbo pump with dry pump for load lock
(2) Ti-Sublimation pumps
With power supplies in base of main chamber
Sample manipulator with servo motors for rotation, 2" or 3"
Position setting
Control unit
Beam flux monitor
Controller
Sample manipulator heater with power supply
Temperature controller and display
(3) Ion gauges:
With (3) power supplies and controllers
Main chamber
Preparation chamber
Load lock
Load lock for 4-10 wafers
With heater for pre-bake out at 150°C, power supply included
Temperature controller
Preparation chamber
With heater for bake out at 400°C, power supply included
Temperature controller
Electrical distribution panel
Bake out panels with electrical connections
(8) Shutters with their control units
Utility distribution box for water, air, N2
QMS and RHEED with power supplies
Operating system and computer (Latest version of Moly, or AMBER, or EPIMAX)
4-6 Sample holders
Silver coated copper gaskets
Pyrometer
RHEED Camera and analysis software
Turn key project
Effusion cell:
Flange, 4.5"
Dual or single heater up to 1350 C
85-155 CC PBN crucible
Power supply
Temperature controller.
VARIAN/VEECO GEN II ist eine Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Ausrüstung für das Wachstum einer breiten Palette von Materialien, darunter III-V-Polytyp, Oxide, Nitride, Graphen und Seltenerdelemente. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten, darunter eine Zwei-Kammer-MBE-Einheit und ein komplettes Kompliment an Werkzeugen und Instrumenten. Die Zweikammer-MBE-Maschine besteht aus einer Verdampfungskammer und einer Wachstumskammer. In der Verdampfungskammer befinden sich sechs Knudsen-Zellquellen, die eine Variation der Materialtypen ermöglichen. Die Wachstumskammer ist eine hochgradig anpassbare Badrohrkammer, die zur Maximierung des epitaktischen Wachstums ausgelegt ist. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Subsystemen ausgestattet, die alle auf die Optimierung der Materialqualität ausgerichtet sind, einschließlich Temperaturregelung, Substratheizung und sechsachsige Überwachung vor Ort. Die Steuerung ermöglicht automatisierte Wachstumsprozesse sowie Fernbedienung. Darüber hinaus ist das Modell mit einer Reihe von optionalen Parametern ausgestattet, einschließlich der Anpassung von Quellgeometrie, Spaltschaufeln und Raster, Probendurchsatz und Kammerdruckkontrolle, sowie Vorausrichtungs- und Nachausrichtungsfunktionen für verbesserte Materialqualität und -genauigkeit. Schließlich ist die Ausrüstung mit einer Reihe verschiedener Stützsysteme ausgestattet, darunter ein Entgasungscluster, eine Fernelektronenkanone, ein Lasersystem und eine Controller-Kombination, die es dem Benutzer ermöglicht, Potenziale auszuschöpfen, um die Materialqualität und die Wachstumsgeschwindigkeit weiter zu optimieren. Insgesamt ist VEECO GEN II eine leistungsstarke Einheit, die eine breite Palette von Materialien anbauen kann. Die zahlreichen Hilfssysteme und Parameter sowie die automatisierte Steuerung ermöglichen eine präzise Manipulation des Materialwachstums, um gleichbleibend hochwertige Materialien herzustellen, die dann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden können.
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