Gebraucht VEECO Gen II #9359602 zu verkaufen
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ID: 9359602
Wafergröße: 2"
MBE System, 2"
(8) Sources:
(7) 2.75" Flanges
4.5" Flange
Indium-free (6) sample holders with profiles
Substrate heater: Up to 900°C
Substrate manipulators:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
(2) Valve crackers
RF Plasma source: Nitrogen / Oxygen
Growth chamber pumps:
Ion pump: 400 l/m
Cryo pump, 10"
Prep chamber pumps: Ion pump
Load lock pumps: Sorption, mechanical, turbo pumps
(3) Ion gauges and controllers
RHEED and QMS Systems
Pyrometer
Computer
Panels.
Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) ist ein komplexes Dünnschicht-Abscheidungsverfahren, das verwendet wird, um atomgenaue Schichten von Materialien für eine Vielzahl von mikroelektronischen Geräteanwendungen zu erzeugen. VARIAN/VEECO GEN II MBE equipment ist eine voll ausgestattete MBE-Maschine für Forschungs- und Entwicklungslabore und Hersteller aus dem universitären und kommerziellen Bereich. Durch die präzise Steuerung vieler Umgebungsparameter und Substratpositionen ermöglicht dieses MBE-System Anwendern die Verwaltung einer Reihe von Abscheideprozessen vom Niederdruck bis zum Ultrahochvakuum. VEECO GEN II MBE ist eine Vier-Quellen-Neigungsquelle mit zwei dedizierten Gruppen V und einer dedizierten Gruppe III-Niederdruckquelle (Rhenium bzw. Arsen). Die vierte Quelle ist eine ultrahoche Vakuumquellenmaschine, die für das Wachstum von GaAs und damit zusammenhängenden Legierungen optimiert ist. Mainframe-Gasquellenventile ermöglichen eine schnelle und saubere Übertragung von Substraten in und aus der MBE-Kammer, während ein integriertes Sicherheitsverriegelungswerkzeug die Anlagenbedingungen überwacht, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die präzise Substratpositionierung erfolgt durch eine lineare Manipulationsstufe, die in verschiedene MBE-Be- und Entladequellen integriert werden kann, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus beinhaltet VARIAN GEN II auch eine manuelle und geschlossene Temperaturregelung mit Thermoelement-Flexibilität. Die Restgasanalyse erfolgt durch ein laserverstärktes Mehrpuls-Quadrupol-Massenspektrometer für verbesserte Genauigkeit und Geschwindigkeit. GEN II MBE-Modell verfügt über eine Vielzahl von Steuerungs- und Automatisierungsfunktionen, die die Benutzererfahrung effizienter machen. Dazu gehört eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Einrichtung und Steuerung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt dieses MBE-Gerät über mehrere vorprogrammierte Rezeptprotokolle für optimiertes Wachstum und Reproduzierbarkeit. Insgesamt bietet VARIAN/VEECO GEN II MBE Anwendern ein leistungsfähiges und präzises System zur Erzeugung atomgenauer Materialschichten. Es bietet eine überlegene Temperaturregelung, eine präzise Substratpositionierung, einen geschlossenen Betrieb, eine verbesserte Sicherheitsverriegelungseinheit und Gasquellenventile sowie eine effiziente GUI-Steuerung und Automatisierung. VEECO GEN II MBE Maschine ist mit seiner breiten Palette an Funktionen und seiner Fähigkeit, modernste technologische Anforderungen zu erfüllen, sicher ein wertvolles Werkzeug für viele Forschungs- und Fertigungsprojekte.
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