Gebraucht VEECO GEN III #293627903 zu verkaufen
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VARIAN/VEECO GEN III ist eine Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Ausrüstung, die eine präzise atomare Reaktionsumgebung für fortgeschrittene Abscheidung bietet. Dies geschieht durch die präzise Anordnung einzelner Moleküle oder Atome an bevorzugten Stellen innerhalb einer Schicht oder Vorrichtung. Das VEECO GEN III-System nutzt eine einzigartige ultrahoche Vakuumumgebung, um präzise, hohe Reinheit und homogene Ergebnisse zu erzielen, die die Notwendigkeit weiterer Reinigungs- oder Diffusionsprozesse vollständig eliminieren. VARIAN GEN III wird in drei primären Einheiten-Konfigurationen angeboten, die verschiedenen Arten von MBE-Ablagerungsaufgaben dienen. Die einzelne Wafermaschine verfügt über einen einzigen Waferhalter mit einem beheizten Suszeptor, ideal für Einzelwafer-Experimente; während das Zwei-Wafer-Werkzeug bietet zwei halb-unabhängige Waferhalter mit unabhängigen Heizelementen, so dass Benutzer die Möglichkeit, auf beiden Wafern in tandem Ablagerung. Das Drei-Wafer-Asset ist für einen hohen Durchsatz konzipiert, mit einer einfachen Be-/Entladestation, mit der Benutzer schnell drei Wafer einsetzen und deponieren können - diese Konfiguration wird am besten für Halbleiterbauelemente und großflächige Geräte wie Displays verwendet. Alle GEN III-Systeme bieten volle Kontrolle über alle Aspekte des Abscheidungsprozesses, einschließlich Druck, Temperatur und Flussmittel. Die Systeme verfügen auch über ein eingebautes Kühlmodell, um die vom Gerät erzeugte Wärme abzuführen. Diese Kühlausrüstung, gepaart mit der leistungsstarken Flusslieferung von VARIAN/VEECO GEN III Systemen, sorgt dafür, dass die Abscheidung mit möglichst genauen und wiederholbaren Raten durchgeführt wird. In Bezug auf die Wafergröße ist VEECO GEN III mit einer breiten Palette von Wafern kompatibel und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200mm aufnehmen. Darüber hinaus verfügt das System über integrierte Be- und Entlade- und Kassettensysteme, die eine einfache Handhabung und Übertragung von bis zu 12 bearbeiteten Wafern ermöglichen. VARIAN GEN III ist darüber hinaus mit einem hochempfindlichen Quadrupol-Massenspektrometer zur schnellen und genauen Identifizierung unerwünschter Hintergrundgase sowie einer Vielzahl von Automatisierungswerkzeugen zur Straffung und Verbesserung des gesamten MBE-Prozesses ausgestattet. Insgesamt ist GEN III eines der fortschrittlichsten MBE-Systeme auf dem Markt. Seine Flux-Lieferung, Wafer- und Gerätekompatibilität, Automatisierungsfunktionen und Vielseitigkeit in Bezug auf Einheitenkonfigurationen machen es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette fortschrittlicher Forschungs- und Entwicklungsprojekte.
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