Gebraucht VEECO GEN III #9262111 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9262111
Weinlese: 2001
MBE System
(3) Al Sources: 400g
(2) Ga Sources: 900g Sumo
In Source: 400g Sumo
CBr4 Carbon Source includes mech pump
Silicon source
(2) Arsenic crackers
RHEED System
Substrate pyrometer
STANFORD RESEARCH SYSTEMS Residual gas analyzer
Cryo and compressor
Ion pumps
Load lock turbo
CAR
Spare parts:
(2) Al Sources – 400g
(2) 400g Sumo
900g Sumo
Be Source
As cracker (Needs rebuild)
Phosphorous cracker
Phosphorous recovery system
Bakeout panels
Spare gate valve
Sump pump
Miscellaneous hardware in cabinet (Gaskets, bolts, crucibles, spare cables)
Includes:
Electronic racks
Computer and desk
Shutter hardware
Trolley
Substrate holders
LN2 Phase separator
Water chiller for source shroud
Water chiller for Arsenic crackers
UPS system for Ga and Al cells
Manuals
2001 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III ist eine Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) Wachstumsausrüstung, die typischerweise für die Abscheidung von dünnen Schichten auf atomarer Ebene verwendet wird. Das System besteht aus mehreren Hauptkomponenten, wie einem Hochtemperatur-Wachstumsbildofen, einer Ultrahochvakuumkammer, mehreren Effusionszellen, einem thermischen Näherungsverschluss und mehreren Vorpumpsystemen. Der Bildofen, der Temperaturen bis 1000 Grad Celsius erreichen kann, wird verwendet, um Material von fester in gasförmige Form umzuwandeln, um qualitativ hochwertige, ultradünne Filme abzuscheiden. Die Ultrahochvakuumkammer ist der Bereich, in dem die Abscheidung stattfindet, und sie wird typischerweise bis zu einigen Zehntel Millibar unter Druck gesetzt. Die mehrfachen Effusionszellen enthalten die Ausgangsmaterialien, die auf eine hohe Temperatur erhitzt werden müssen, damit sie ihre Elemente verdampfen und zur Bildung des Dünnfilms in die Kammer gelangen. Der thermische Näherungsverschluss dient zur Steuerung der relativen Lage der Effusionszellen zu dem Substrat, auf dem der Film abgeschieden wird. Die Vorpumpsysteme sind erforderlich, um ein hohes Vakuum aufrechtzuerhalten, was für MBE wesentlich ist, da es eine niedrige Partialdruckumgebung erfordert, um eine Verschmutzung der Folie zu verhindern. Die Pumpeinheit ist an die Vakuumkammer angeschlossen und erfüllt zwei Funktionen: den Druck der Maschine zu regulieren und ein hochwertiges Vakuum zu erzeugen. Das Pumpwerkzeug kann auch zusätzliche Komponenten wie Kryofallen, Vakuummessgeräte, Verteilerventile und Läppventile verwenden, um die Leistung zu optimieren. Insgesamt ist VEECO GEN III MBE Asset ein leistungsstarkes Wachstumswerkzeug, das eine Reihe von Materialeigenschaften unter extrem präzisen Bedingungen bereitstellen kann. Es bietet eine beispiellose Kontrolle des Abscheideprozesses und ermöglicht komplexe und komplizierte Dünnschichten.
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