Gebraucht VEECO GENxplor #293648270 zu verkaufen
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Molekularstrahlepitaxie (MBE) ist eine Art Vakuumabscheidungstechnik, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. MBE verwendet eine Vakuumkammer, die versiegelt ist und die die Abscheidung von Dünnschichtmaterialien auf verschiedenen Substraten in Form von Atomen oder Molekülen ermöglicht. VARIAN/VEECO GENxplor, speziell, ist ein Hochvakuum, Niedertemperatur-Atomschicht-Epitaxie (ALE) -System, das Abscheidung von Materialien mit verbesserter Leistung und Reproduzierbarkeit ermöglicht. VEECO GENxplor ist ein Zweizonensystem, das aus einem Einsatz besteht, der entweder zwei von VEECO patentierten hochreinen sauerstoffarmen Öfen an beiden Enden oder einen einzigen Zweizonenofen mit zwei unterschiedlichen Temperaturzonen auf demselben Substrat enthält. Die Verwendung von Zweizonenöfen ermöglicht die Abscheidung von zwei Dünnschichtmaterialien bei unterschiedlichen Temperaturen bei präziser Temperaturregelung. VARIAN GENxplor ist auch mit drei molekularen Strahlventilen und zwei Effusionszellen ausgestattet, um eine größere Palette von metalorganischen Quellchemikalien bereitzustellen. Der Molekülstrahl injiziert eine extrem präzise Dosis metalorganischen Dampfes in die Wachstumskammer, die 130-600 mal genauer sein soll als herkömmliche metall-organische Aufdampfverfahren. Darüber hinaus bietet GENxplor mit seinem fortschrittlichen Wafer-Positionsmodul eine hervorragende Wafer-Gleichmäßigkeit, die präzise auf innerhalb von 1 µm liegt. Dies ermöglicht eine höhere Kontrolle der Temperatur sowohl der Quelle als auch des Substrats während der Abscheidung, wodurch hochwertige Dünnschichtschichten über den gesamten Wafer wachsen können. Schließlich wird VARIAN/VEECO GENxplor mit VARIAN GRIP patterned growth software gebündelt, die einen präzisen, wiederholbaren Prozess für die Herstellung modernster nanoskaliger Speichergeräte und anderer Hochleistungsgeräte bietet. Die Software automatisiert den Abscheidungsprozess durch die Steuerung der Molekularstrahlventile und Effusionszellen und gewährleistet eine präzise und zuverlässige Abscheidung. Abschließend ist VEECO GENxplor ein fortschrittliches MBE-System, das im Vergleich zu herkömmlichen MBE-Systemen eine erhöhte Genauigkeit und Leistung liefert und somit ein wertvolles Werkzeug für Gerätehersteller ist, die auf volle Präzision und Kontrolle für ihre Dünnschichtabscheidung achten.
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