Gebraucht VG SEMICON / OXFORD V100 #293615569 zu verkaufen

VG SEMICON/OXFORD V100 ist eine Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Ausrüstung, die hauptsächlich zur Abscheidung von dünnen Schichten aus Halbleitermaterialien auf Substraten wie Silizium oder Galliumarsenid verwendet wird. Es verwendet eine zweistufige Quellenanordnung mit einer Hochtemperaturreaktantenquelle oben und einer Tieftemperaturquelle unten. Die Wachstumskammer wird aus der Hauptevakuierungskammer entspannt und die Abscheidung erfolgt bei Drücken von ~ 3 × 10 ^ -7 Torr unter Vakuum. In diesem System gibt es zwei halbkugelförmige Linsen, die die Molekülstrahlen auf die Probenoberfläche fokussieren, und Heiz-/Kühlspulen sowohl für Reaktantquellen als auch für die Wachstumskammer. OXFORD V100 ist mit einer Reihe von Instrumenten zur Prozesssteuerung ausgestattet, wie einer Druckmeßeinheit, einer in situ Quarzkristallmikrowaage (QCM), einer Sauerstoffgettermaschine, einem in situ Reflektometer und einem Quarzkristallthermometer. Das in-situ QCM wird zur Messung der Massenabscheidungsrate und Zusammensetzung dünner Filme verwendet, während das in-situ Reflektometer zur Überwachung der Oberflächenmorphologie verwendet wird. Mit dem Sauerstoffgetterwerkzeug kann eine niedrige Sauerstoffkonzentration in der Wachstumskammer aufrechterhalten werden, um eine Oxidation der Halbleiterfilme während der Abscheidung zu verhindern. Mit dem Quarzkristallthermometer können sowohl die Reaktantquelle als auch die Kammertemperaturen überwacht werden. VG SEMICON V100 wird hauptsächlich für den Anbau von Filmen aus Halbleitermaterialien wie Silizium und Galliumarsenid von MBE verwendet. Diese Folien sind meist sehr dünn, typischerweise nur wenige Atomschichten dick und erfordern eine sehr genaue Steuerung der Wachstumsparameter, um ein ordnungsgemäßes Wachstum der Folien zu gewährleisten. V100 eignet sich auch für das Wachstum von Folien aus anderen Materialien wie Aluminiumgalliumarsenid, Galliumnitrid und Aluminiumoxid. Abschließend ist VG SEMICON/OXFORD V100 ein anspruchsvolles MBE-Asset, das für die Abscheidung von ultradünnen Filmen aus Halbleiter- und anderen Materialien verwendet werden kann. Es ist mit einer Reihe von Instrumenten ausgestattet, um eine präzise Prozesskontrolle zu gewährleisten, die für das Wachstum hochwertiger Folien erforderlich ist.