Gebraucht Andere Waferbearbeitung zu verkaufen
Waferbearbeitungsanlagen beziehen sich auf Maschinen und Werkzeuge, die bei der Herstellung und Verarbeitung von Halbleiterscheiben verwendet werden. Diese Wafer sind das Fundament mikroelektronischer Bauelemente wie integrierte Schaltungen und Speicherchips. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine Reihe kritischer Schritte durchführt, die für die Herstellung dieser Geräte unerlässlich sind. Der erste Schritt in der Waferbearbeitung ist die Waferreinigung. Dabei werden Partikel oder Verunreinigungen von der Waferoberfläche entfernt, um ein sauberes und defektfreies Substrat zu gewährleisten. Es werden verschiedene Reinigungstechniken eingesetzt, darunter Naßchemikalienreinigung, Trockenplasmareinigung und Ultraschallreinigung. Als nächstes folgt der Abscheidevorgang, bei dem Dünnfilmschichten auf den Wafer aufgebracht werden. Dies kann mit verschiedenen Methoden wie chemischer Dampfabscheidung, physikalischer Dampfabscheidung und atomarer Schichtabscheidung erfolgen. Der Abscheidevorgang ist entscheidend, da er die elektrischen und physikalischen Eigenschaften der Folie bestimmt. Nach der Abscheidung wird die Ionenimplantation durchgeführt, um Dotierstoffe in den Wafer einzuführen und dessen elektrische Eigenschaften zu verändern. Dieses Verfahren ermöglicht die präzise Steuerung der Leitfähigkeit in verschiedenen Bereichen der Vorrichtung. Es folgt die Waferlithographie, die die Strukturierung des Wafers durch den Einsatz photolithographischer Techniken beinhaltet. Dieser Schritt bildet die komplizierten Muster, die für die Funktion der mikroelektronischen Geräte notwendig sind. Schließlich wird geätzt, um selektiv Material aus dem Wafer zu entfernen und die gewünschten Merkmale und Abmessungen zu erzeugen. Je nach verarbeitetem Material werden unterschiedliche Ätzarten wie Naßätzen, Trockenätzen und Plasmaätzen eingesetzt. Insgesamt spielen Waferbearbeitungsgeräte eine entscheidende Rolle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und ermöglichen die Herstellung kleinerer, schnellerer und effizienterer mikroelektronischer Bauelemente. Verbesserte Anlagen und Prozesse haben zu Fortschritten in der Technologie und der Miniaturisierung elektronischer Geräte geführt.
Filter
-
(1)
-
(4)
-
(1)
-
(5)
-
(1)
-
(2)
-
(2)
-
(8)
-
(1)
-
(3)
-
(11)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(40)
-
(4)
-
(1)
-
(10)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(9)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(51)
-
(1)
-
(6)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(7)
-
(2)
-
(2)
-
(1)
-
(12)
-
(4)
-
(5)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(3)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(5)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(3)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(3)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(3)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(5)
-
(3)
-
(1)
-
(5)
-
(2)
-
(4)
-
(4)
-
(1)
-
(1)
-
(6)
-
(2)
-
(2)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(5)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(11)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(2)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(7)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(14)
-
(1)
-
(4)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(4)
-
(1)
-
(1)
-
(3)
-
(3)
-
(16)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(21)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(8)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(7)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(16)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(1)
-
(3)
-
(1)
-
(1)
-
(5)
-
(1)
-
(1)
-
(1)
-
(4)
-
(1)
-
(1)
-
(3)
-
(10)
-
(6)
-
(3)
-
(2)
-
(16)
-
(6)
-
(6)
-
(3)
-
(7)
-
(8)
-
(13)
-
(6)
-
(7)
-
(6)
-
(8)
-
(4)
-
(6)
-
(4)
-
(3)
-
(3)
-
(4)
-
(2)
-
(4)
-
(1)
-
(3)
-
(1)
-
(2)
-
(1)
-
(245)
