Gebraucht ACCUTHERMO AW 410 #9185454 zu verkaufen
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ID: 9185454
Wafergröße: 2"-4"
Rapid thermal processing system, 2"-4"
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with one TC connection port
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 17 (1.5 kW) radiation heating lamp module
Isolated quartz tube:
Without pyrometer window
With pyrometer window
(4) Bank zones:
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 2"- 4" Round wafer
Gas line with gas MFC without shut-off valve
T-Shaped quartz with qualified K type TC
Holder: 100°C - 800°C Temperature measurement
Thermocouple wires: (5) Pcs
Specifications:
Ramp up rate: 10°C to 120°C/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-300 sec/step
ERP Pyrometer: 450-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100-800±0.5°C
With ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±5°C across, 4"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Options:
Patented ERP pyrometer: 400-1250°C
MFCs With extended gas box
Gas control board
Carrier / Suspector for small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Non-Contact high temperature sensor
Chiller: ERP Pyrometer
Pyrometer calibration:
Single point
Omega meter CL23A
Thermocouple calibration
Shut-off valve: Quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(17) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 4"
Substrate thickness: <7 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000 °C: 5 Mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
35 to 50 psi (2.5 to 3.5 kg/cm2)
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Susceptor: Base and cover
Gas line: 1
Dimension: 17”x18”x11” (DXWXH)
Gas line: 2 tot 4
Dimension: 17”x26”x11” (DXWXH)
Gas line: 5 to 6
Dimension: 17”x30”x11” (DXWXH)
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 60
CE Marked.
ACCUTHERMO AW 410 ist ein Ofen oder ein Ofen, der für maximale Sicherheit, Zuverlässigkeit und Effizienz ausgelegt ist. Dieser Ofen bietet eine Vielzahl von Merkmalen, die eine präzise Steuerung des Heizprozesses und der thermischen Schutzfunktionen ermöglichen. Das Gerät verfügt über eine robuste Kammer und Isolierung, die maximale Wärmerückhaltung für zuverlässige Heizleistung gewährleistet. Es verfügt auch über eine leistungsstarke und einstellbare Lüfterausrüstung für gleichmäßige Wärmeübertragung in der gesamten Kammer. Der Temperaturregler verfügt über eine PID-basierte programmierbare Logik, die eine präzise Steuerung des Heizprozesses ermöglicht. Die Steuerung bietet dem Anwender einstellbare Programme, die zum Vorwärmen, Halten, Rampen und vielen anderen Prozessfunktionen verwendet werden können. Es bietet auch einstellbare Temperaturüberschuss- oder Unterschießalarme, die dem Benutzer helfen, den Prozess im Auge zu behalten und eine genaue Temperaturregelung sicherzustellen. AW 410 verfügt auch über ein verstellbares Luftverteilungssystem. Das Gerät hilft, die Gleichmäßigkeit der Heizung zu verbessern, indem es die Luftgeschwindigkeit und die Primärluftverteilung direkt anpasst. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärme gleichmäßig über die Ofenkammer übertragen wird. Die Luftströmungsmaschine hilft auch, überschüssigen Kraftstoffverbrauch oder Fensterüberhitzung in der Kammer zu reduzieren. Der Ofen ist mit einer Reihe von Schutzelementen ausgestattet, die die Betriebssicherheit gewährleisten. Der Innenraum ist mit einer Hochtemperatur-Isolierabdeckung sowie einer verstellbaren Türblende ausgestattet. Diese Eigenschaften helfen, die Metallexposition durch direkte Hitze oder Flamme zu reduzieren. Der Innenraum ist außerdem mit vertieften Griffheizungen und verstellbaren Schaltern ausgestattet, um eine einfachere Bedienung und erhöhte Sicherheit zu gewährleisten. ACCUTHERMO AW 410 ist für den Einsatz in Industrie und Labor konzipiert. Der Ofen kann für eine Vielzahl von Wärmebehandlungsarbeiten wie Sintern, Anlassen, Härten und fast jede andere Art von thermischem Prozess verwendet werden. Der Ofen hat die Fähigkeit, maximale Temperaturen von 2010 ° C mit einer Genauigkeit von ± 3 ° C zu erreichen. Der Ofen ist mit optimaler Wärmedämmung ausgelegt und wird mit Hochleistungsstahl- und Keramikkomponenten konstruiert, was eine dauerhafte Leistung und Zuverlässigkeit gewährleistet.
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