Gebraucht ACCUTHERMO AW 610 #9185462 zu verkaufen
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ID: 9185462
Wafergröße: 2"- 6"
Rapid thermal processing system, 2"-6"
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with TC connection port
Isolated quartz tube without pyrometer window / with pyrometer window
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 21 (1.2kW) radiation heating lamp module
(4) Bank zones:
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 4" to 6" Round wafer / Customized
Gas line with gas MFC without shut-off valve
T-Shape quartz with qualified K-type TC
Holder: 100°C-800°C Temperature measurement
Thermocouple wires: (5) pcs
Ramp up rate: 10°C to 120°C/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-300 sec/step
Ramp down rate: 10°C to 200°C/sec
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
ERP Pyrometer: 450-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100-800°C
with ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±5°C across, 6"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Options:
MFCs with extended gas
Box and gas control board
Carrier or susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Patented ERP pyrometer (400-1250°C)
Non-contact high temperature sensor
Chiller for ERP pyrometer
Single point for pyrometer calibration
Omega meter for pyrometer and thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(21) Lamps
(4) Lamp zones: 3 Phase
(2) Lamp zones: 1 Phase
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 6"
Substrate thickness: <7 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000°C: 5mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Omega meter: CL23A
Susceptor: Base and cover
Gas line: 1
Dimension: 17”x18”x11” (DXWXH)
Gas line: 2 tot 4
Dimension: 17”x26”x11” (DXWXH)
Gas line: 5 to 6
Dimension: 17”x30”x11” (DXWXH)
Power :
1 Phase / 3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 70 / 100
CE Marked.
ACCUTHERMO AW 610 ist ein Elektroofen für Hochtemperatur-Wärmebehandlung und Laboranwendungen. Das Gerät eignet sich zum Vorwärmen, Glühen, Anlassen und ähnlichen Operationen in einer Vielzahl von Materialien und Komponenten. AW 610 ist in der Lage, bis zu einer Temperatur von 1100 ° C zu heizen und kann die Temperatur des Prozesses bis zu einem vom Benutzer aktuell programmierten oder manuell eingestellten Sollwert genau steuern. Es verfügt auch über zwei unabhängige Heizelemente für inerte sowie oxidierende Atmosphären. ACCUTHERMO AW 610 verfügt über eine hochwertige Edelstahlinnenkammer mit zwei Seiten aus feuerfestem Material, die Wärme aufnehmen und die Heizelemente schützen. Die Kammer weist zwei Scharniertüren auf, wobei die Innentür zum leichten Be- und Entladen des zu behandelnden Materials leicht entfernt wird. AW 610 ist so konstruiert, dass maximale Sicherheit für den Benutzer und die Kammer. Es ist mit Übertemperaturschutz ausgestattet, mit der Reset-Taste an der Vorderseite des Ofens. Sie weist ferner zwei Endschalter auf, einen im unteren und einen zweiten im oberen Bereich der Kammer, die die Heizungen bei Übertemperatur- oder Niedertemperaturverhältnissen stoppen. Dieser Ofen/Ofen verfügt auch über ein erweitertes Steuerungssystem, das ein Touchscreen-LCD-Display für einfachen Zugriff auf alle Bedienelemente und Einstellungen enthält. Es kann entsprechend der Arbeitstemperatur, Atmosphäre, Verweilzeit und anderen Parametern programmiert werden. Zu den weiteren Merkmalen gehören Kraftkühlung, Vakuumpumpe, Verriegelung und Sicherheitsschloss. ACCUTHERMO AW 610 ist eine vielseitige und zuverlässige Ausrüstung, die sich für den Einsatz im Labor, in der Forschung und in Anwendungen in bestimmten Branchen eignet. Das hocheffiziente und genaue Temperaturregelsystem sorgt für hervorragende und reproduzierbare Ergebnisse unter allen Bedingungen. Die Ausrüstung ist auch günstig und kommt mit einer einjährigen Garantie.
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