Gebraucht REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400 #9050538 zu verkaufen

REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400 ist ein Halbleiteroxidationsofen, mit dem dünne dielektrische Schichten wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid usw. erzeugt werden. Es ist in der Lage, maximale Temperaturen von 800 ° C bis 1400 ° C mit Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu erreichen. Es verwendet eine Zweifrequenz-Induktionsheizung, die Flexibilität der Wahl für die optimale Verarbeitungstemperatur bietet. Die oxidierende Atmosphäre innerhalb des Ofens wird unter Verwendung einer Kombination von Stickstoff und Sauerstoff ausgebildet, wobei bei Bedarf bis zu 100% Stickstoff zur Verfügung stehen. Diese Umgebung kann an die spezifischen Prozessanforderungen des Anwenders angepasst werden und ermöglicht eine effiziente und wiederholbare Verarbeitung. Das Gerät ist mit einer umfassenden Palette von Temperaturregelungen ausgestattet, die präzise Temperaturen und einheitliche, wiederholbare Ergebnisse gewährleisten. Dazu gehören eine vollständig computergesteuerte Datenerfassungseinrichtung mit bis zu 4 Profilprogrammen für gespeicherte Daten, ein automatisches Übertemperaturschutzsystem und eine manuelle Überhitzungsschutzeinrichtung. Darüber hinaus ermöglicht der Ofen eine unabhängige Ofensteuerung über verschiedene Abschnitte für eine abgestufte Temperaturprofilierung eines Wafers. Die integrierte 6-stufige Filtereinheit sorgt dafür, dass die Atmosphäre innerhalb des Ofens frei von Partikeln ist und eine mikroprozessorgesteuerte Luftdrucküberwachungsmaschine eine dynamische Steuerung der Atmosphäre ermöglicht. Das Gewebe des Ofens wird mit 0,5 Zoll dick bewertet, um Wärmeverlust zu verhindern und eine konsistente Temperatur innerhalb des Ofens auch unter Hochtemperaturbetrieb aufrechtzuerhalten. Der Ofen ist aus schwerem Edelstahl gefertigt, der sowohl langlebig als auch korrosionsbeständig ist und somit ideal für zahlreiche industrielle Zwecke ist. Das innerhalb des Ofens verwendete Inertgas wird der Kammer über einen Prozessgasschalter (PGS) zugeführt. Der Ofen enthält auch eine Luftdrucküberwachung, um sicherzustellen, dass die gewünschte Druckbeaufschlagung erreicht wird. Das Steuermodul des Ofens ist mit einem 8,4-Zoll-Touchscreen-LCD-Display ausgestattet, mit dem der Benutzer Programme einrichten und verfolgen, Parameter wie Temperatur, Druck und Gasmix steuern sowie den Prozessfortschritt überwachen kann. Ein USB-Anschluss ist auch für Datensicherung, Werkzeugdiagnose und Software-Updates ausgestattet. Die Installation kann per Ethernet oder RS232/RS485/USB-Schnittstelle ferngesteuert werden. Insgesamt ist REHM SMS-V6-N2 B3300/80-400 ein fortschrittlicher, hochpräziser Ofen, der zur Oxidation und Diffusion von Halbleiterscheiben geeignet ist. Sein flexibles Design, seine umfassende Steuerung und seine genauen Temperaturüberwachungsfunktionen machen es zu einem wichtigen Werkzeug für eine ganze Reihe von Branchen.