Gebraucht VISION SEMICON VSP-88H #9122513 zu verkaufen
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ID: 9122513
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
Plasma cleaners, 8"
Vacuum pump: 1560L/min oil rotary pump with 300ß©/h booster
Gas flow controller: Mass flow controller
Internal chamber dimension: W 580mm x H530mm x D580mm
Electrical power: 200 VAC, 3 Phase, 30A
Loading capacity: (8) Magazines
PC Based main control: Windows XP & C++ Language
TFT LCD Touch screen
Power source: RF Generator, 13.56MHz, 600W
2005 vintage.
VISION SEMICON VSP-88H ist ein Ofen für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist ein vielseitiges und robustes Gerät mit einer hervorragenden Temperaturgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. Sein Temperaturbereich beträgt bis zu 1200 ° C, mit einer einstellbaren Rampenrate von bis zu 60 ° C/min Programmierung und kann auch für schnelle Erholungszeiten bei hohen Temperaturen sorgen. VSP-88H verfügt über eine programmierbare automatisierte Steuerungseinrichtung und ist für Prozesskontrolle, Qualitätssicherung, intelligente Datentabellung und Datenprotokollierung konzipiert. Durch den Einsatz eines fortschrittlichen PID-Kompensationssystems wird die Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit aufrechterhalten. Es ist auch mit fortschrittlicher Software zum Verfolgen und Verwalten von Experimenten ausgestattet. Zu den Designmerkmalen von VISION SEMICON VSP-88H Ofen/Ofen gehört eine Delta-T-Technologie, die aus einer Reihe robuster, starrer Steine rund um die Ofenkammer besteht, die eine präzise thermische Kontrolle ermöglichen. Es hat auch eine Ganzkörper-Isoliereinheit und luftdichte Tür mit einer Verriegelungsmaschine für die Sicherheit. Darüber hinaus verfügt VSP-88H auch über ein Tiefkühlwerkzeug, das eine schnelle Abkühlung der Kammer ermöglicht. Dadurch wird ein thermischer Schock verhindert, wenn die Wärmezone extrem hohe Temperaturen erreicht. Es hat auch ein fortschrittliches Timer-Asset, ein Vakuumdichtungsmodell und eine computergestützte Ausrüstung zum Plotten computergestützter Kurven. Das Design von VISION SEMICON VSP-88H verfügt zudem über ein Vollwellen-Einspritzsystem zur präzisen und gleichmäßigen Heizungsregelung, das sich ideal für Anwendungen eignet, die eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. Der Ofen weist eine automatische Sicherheitseinheit auf, die bei Erreichen schädlicher Temperaturen die Stromversorgung abschaltet, sowie eine manuelle Sicherheitsmaschine, die es dem Benutzer ermöglicht, das Werkzeug zu steuern und manuell abzuschalten, wenn die Temperatur über ein voreingestelltes Niveau steigt. Abschließend ist VSP-88H ein Ofen für die Halbleiterherstellung. Seine fortschrittliche Temperaturgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine vielseitige automatisierte Steuerung ermöglichen einen effizienten und zuverlässigen Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen. Mit seinem fortschrittlichen Timing-Modell, einer Tiefkühlausrüstung, einem Vakuumdichtungssystem und einer computergestützten Plotingeinheit verfügt VISION SEMICON VSP-88H über alle Funktionen, die erforderlich sind, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten.
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