Gebraucht ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9242165 zu verkaufen

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ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702
Verkauft
ID: 9242165
Wafer dryer With SCD-01 controller.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 ist ein Photoresist-System für die effiziente und genaue Verarbeitung elektronischer Komponenten. Diese Einheit verwendet ein mehrzoniges, dreistufiges Spin-Verfahren, das eine zuverlässige und wiederholbare Herstellung von gleichmäßigem Fotolackfilm über eine Vielzahl von Merkmalen und Substraten ermöglicht. Es ist in der Lage, Wafer von 18mm bis 600mm zu verarbeiten. ASSI SV-702 bietet eine einzigartige Methode zur Handhabung von Substraten und Eigenschaften durch die Kombination einer Präzisionsspinmaschine und einer statischen Vorspannelektrode. Die Vorspannelektrode ermöglicht gleichmäßige Spin-Geschwindigkeiten und statische elektrische Felder, die eine bestmögliche Spin-Gleichmäßigkeit ermöglichen. Das Tool wurde entwickelt, um den höchsten Durchsatz und Genauigkeit zu bieten, mit Belichtungszeit unter einer zweiten, hohe Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit von Spin-Mustern. Das Asset kann sowohl mit positiven als auch mit negativen Photolackmaterialien verwendet werden. Durch die Verwendung einer beheizten Resistkammer wird das Photolackmaterial erwärmt und gleichmäßig auf das Substrat aufgebracht. Die beheizte Kammer sorgt für ein gleichmäßiges Temperaturprofil und ermöglicht eine gleichmäßige und gleichmäßige Spinleistung. Dies eliminiert Drift und beseitigt Fehler im Prozess. ADVANCED SPIN Model INC SV-702 verwendet eine pneumatische Antriebsausrüstung, um die Wafer zu drehen und eine gleichmäßige Foliendicke und -platzierung zu gewährleisten. Das System ist auch mit einer Spindel-Pneumatik-Einheit ausgestattet, die eine kontrollierte Resist-Applikationsgeschwindigkeit ermöglicht, die eine hohe Filmsteuerung ermöglicht. Es verfügt auch über eine automatisierte Prozesssteuerung, die es dem Bediener ermöglicht, Parameter in Echtzeit zu überwachen und anzupassen. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Vielzahl von Datenerfassungsfunktionen, die eine detaillierte Nachbearbeitungsanalyse ermöglichen. SV-702 umfasst auch ein integriertes Vision-Tool, das die Inspektion des Endprodukts on-the-fly ermöglicht. ADVANCED SPIN Asset INC/ASSI SV-702 ist ein All-in-One-Fotolackmodell, das eine Vielzahl von Stoffen zuverlässig und präzise verarbeiten kann. Seine präzise Spin-Ausrüstung, statische Vorspannelektrode, beheizte Resistkammer, pneumatisches Antriebssystem, Spindelpneumatik und automatisierte Prozesssteuerung ermöglichen eine einheitliche Filmplatzierung und ein Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit, das in der Branche unerreicht ist.
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