Gebraucht ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9397635 zu verkaufen

ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702
ID: 9397635
Spin Rinse Dryer (SRD).
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 ist ein fortschrittliches Photolacksystem für den Einsatz in kommerziellen Photolithographieverfahren. Das Gerät verfügt über einen mehrachsigen Spinner und einen Drehtisch mit präziser Bildeinspritzung, der präzise und reproduzierbare Bilder mit hervorragender Auflösung ermöglicht. Es ist für den Einsatz mit einer breiten Palette von Photoresists konzipiert und ist in der Lage, Muster bei Submikron-Auflösungen zu erreichen. Der Spinner verwendet einen Hochgeschwindigkeitsmotor mit einer maximalen Drehzahl von 20.000 U/min und ist in der Lage, eine Vielzahl von Spinnern mit einem maximalen Durchmesser von 550 mm zu spinnen. Der Spinner bietet präzise Drehzeit und Verzögerungssteuerung, um reproduzierbare Ergebnisse mit minimalen Photolackschäden zu gewährleisten. Der Spinner ist außerdem mit einer Vakuumkammer ausgestattet, um die Spin-Zeit zu reduzieren und die Beschichtungszeit zu reduzieren. Der Drehtisch ist mit einer integrierten Indexiermaschine ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung des Wafers im Spinner ermöglicht. Der Tisch ist in der Lage, den Wafer mit einer maximalen Drehzahl von 120 U/min zu drehen und kann in einem einzigen Spin Indexzahlen von bis zu 48 erzeugen. Der Tisch verfügt auch über eine Auto-Stop-Funktion, die Überbeschichtungen verhindert. Das Fotolackwerkzeug ist mit einem Präzisionsbildeinspritzgut für reproduzierbare Bildprojektion ausgestattet. Es verfügt über eine Reihe von hochgenauen Linsen und ein verbessertes Lasermodell, das eine genaue Belichtung von feinen Strukturen ermöglicht. Die Maschine ist auch in der Lage, sowohl Chargen- als auch Einzelbelichtungsprozesse zu erreichen. ASSI SV-702 eignet sich für den Einsatz in der gewerblichen und industriellen Photolithographie. Es bietet Anwendern eine zuverlässige, reproduzierbare und effiziente Photolackausrüstung mit erweiterten Funktionen und ausgezeichneter Auflösung.
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