Gebraucht AEROTON Aero 886 #9273222 zu verkaufen
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AEROTON Aero 886 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine umweltfreundliche Lösung für das Ätzen von Werkzeugen im Herstellungsprozess von Halbleitern und anderen integrierten Schaltungen bietet. Das System basiert auf der Photoresisttechnologie, einem Verfahren zum Aufbringen einer dünnen Schicht aus lichtempfindlichem Material auf ein Substrat, das dann mit einer ultravioletten Lichtquelle bestrahlt wird. Bei Aero 886 wird die Photoresist-Technologie in einer mit Stickstoff gefüllten Kammer durchgeführt, um die Belastung durch schädliche Oxidation zu reduzieren. Das Gerät verwendet einen Satz Waferträger, die innerhalb der Kammer platziert sind. Die Wafer werden in die Kammer übertragen und eine Infusion von Stickstoffgas injiziert, um die Oxidationswerte zu senken. Nach Erreichen der erforderlichen Vakuumwerte wird eine „Sperrschicht“ auf die Wafer aufgebracht und einer hochintensiven ultravioletten Lichtquelle ausgesetzt. Dies ist die Ätzstufe des Prozesses. Während des Ätzvorgangs wird die Photolackschicht dem UV-Licht ausgesetzt, um eine strukturierte Abbildung auf der Oberfläche des Wafers zu erzeugen. Dies wird durch spezielle Schablonen erreicht, die Konstruktionsinformationen enthalten, die vor dem Ätzen in die Maschine programmiert werden. Während das UV-Licht über den Wafer gelangt, wird die Photolackschicht je nach Schablonenmuster belichtet oder blockiert. Das gewünschte Konstruktionsmuster wird dann in das Substrat geätzt, wodurch ein feines Muster von Minisküllinien und Punkten erzeugt wird, die als Mikromarkierung bezeichnet werden. Sobald das gewünschte Muster geätzt ist, leitet das Werkzeug dann eine kleine Dosis Stickstoffgas über die Oberfläche des Wafers, um überschüssiges Material abzuräumen, das die Photoresistschicht stören könnte. Dadurch wird sichergestellt, dass nach dem Aufbringen der Ersatz-Photolackschicht das neue Muster im Takt bleibt. Insgesamt ist AEROTON Aero 886 eine effektive und effiziente Lösung zum Ätzen feiner Muster in Substrate für verschiedene Anwendungen. Die mit Stickstoff gefüllte Kammer hilft, Schäden durch Oxidation zu beseitigen und das hochintensive UV-Licht erzeugt eine genaue Mikromarkierung, die ein präzises Ätzen und ein hochwertiges Endprodukt ermöglicht.
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