Gebraucht AIO / RITE TRACK SVG 90 #293775031 zu verkaufen
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ID: 293775031
Wafergröße: 6"
Coater / Developer system, 6"
FTC Cabinet
Main power GP Cabinet
SVG GUI Rack controller cabinet
SVG Chemical cabinet
Chemical waste tank
Wafer centering module
(2) Coat modules
(2) Develop modules
(2) Load ports
HMDS Module
(3) Bake oven modules
(4) Chill plate modules
Qty / Description
(16) / Shuttle bearings, SVG, linear 200-595
(4) / Belt timing SVG Dev dispenses ARM 6B16-37
(3) / Tebr cables chain,4MM Pitch 1.2O PD
(4) / Cable chains, 103 Pitch (Belt) 204-020
(2) / Spin station boards
(1) / Thermalogic temp control board / 121-180
(1) / Shuttle interface board 99-80267-01R
(1) / Assy, thermo cutoff 99-23226-01
(1) / Motor, random shuttle drive 99-45467-01
(1) / Motor gear harness 99-47222-01
(1) / Marathon motor mod 5KH32GNB811AX
(1) / Motor, spindle, 90S air assist 27-66286-01
(1) / Sensor, cassette
(3) / RTD, 3 Wire 1/8 sheaths
(5) / Optical sensor transmissive 0.512 (13MM" Z3204-ND
(4) / PCB Assy, 80158 Single sensors SVG 99-80158-01
(1) / Cybor pump controller 506A
(2) / Hot bake temp controllers
(4) / 24 VDC Solenoid 114-1003
(4) / 24 VDC Solenoid 50 PSI 99-38539-01
(3) / Sprng, tors .048X270DEG 2.5IN LBS 211-150
(4) / Exhaust tube poly-bake 9.5 13287-01
(2) / Chuck, 90, Coater, 8"
(2) / 21190-01
(4) / Kit, flowmeters 17-76280-01
(2) / Nozzles 2257-01
(2) / Cassette end station vacuum blades, short
(3) / PIN, Centering devices 20770-01
(4) / PIN, Supporting 20769-01
(2) / Cassette shuttle vacuum blades, LONG 99-41467-02
(19) / Fuses 500 MA F2450-ND
(1) / Vacuum bake thermocouple 121-208
(2) / Top side EBR Motor harness tebr 99-39825-01
(3) / Cybor 5116 pumps
(2) / Procon pumps 105C240F51BD
(1) / Flow meter 65MM EBR 1350GAL1AKFF1AAA
(8) / Boat, entegris (8") K198-80MB-97C02
(4) / Solenoid valve assembly 99-23062-01
(3) / Vacuum solenoid, 24VDC 114-088
(4) / KIT, Humphrey valves, 4WAY, 2POS, 24VDC 17-77246-01
(1) / Power supply board 99-80268
(4) / Cable chains, 88 pitch 204-021
(3) / 24 VDC Solenoid 2WAY VALVE 114-102
(1) / SCR Power controller
(1) / Hygroclip HC2-S standard climate probe
(1) / Spindle motor controller 99-38892-01
(1) / Spindle motor controller 99-38891-01
(2) / Serial arm full assemblies 99-38154-02
(2) / Motors DC Servo 75V 1.5A 112-083
(2) / Pistons 203-148
(1) / Keyboard 90S CES 85-48094-01U
(1) / Chamber LID VP/VB/HPO
(1) / Rotronic humidity transmitter
(1) / Assy, LCD Display 99-41844-01
(1) / PCB Assy,vacuum sensor 99-80170-01
(6) / Stations CPU BD 80166F.
AIO/RITE TRACK SVG 90 ist eine anspruchsvolle Photolackausrüstung, die eine entscheidende Rolle in der Halbleiterindustrie spielt. Dieses System wurde entwickelt, um eine präzise und zuverlässige Strukturierung von Photolackmaterialien auf Wafersubstraten zu ermöglichen, wodurch komplizierte Halbleiterbauelemente mit hoher Genauigkeit und Auflösung hergestellt werden können. AIO SVG 90 integriert verschiedene fortschrittliche Technologien und Funktionen zur Unterstützung der komplexen Lithographie-Prozesse der Halbleiterherstellung. Eine der Schlüsselkomponenten der RITE TRACK SVG 90 Einheit ist das Gleismodul, das für das Spenden, Beschichten, Backen und Entwickeln von Photolackmaterialien auf der Waferoberfläche zuständig ist. Das Gleismodul ist mit mehreren Spin-Coatern ausgestattet, die eine gleichmäßige und kontrollierte Abscheidung von Fotolackfilmen unterschiedlicher Dicke ermöglichen. Die Maschine umfasst auch Kochplatten und Kühlplatten zum Backen und Kühlen der beschichteten Wafer, die optimale Folieneigenschaften und Haftung gewährleisten. Das SVG 90-Tool integriert fortschrittliche Automatisierungs- und Robotiktechnologien, um den Arbeitsablauf der Photoresist-Verarbeitung zu optimieren und die Produktionseffizienz zu maximieren. Die Anlage ist mit hochpräzisen Ausrichtungs- und Positionierungsmechanismen ausgestattet, um eine genaue Überlagerung und Registrierung mehrerer Lithographieschritte zu gewährleisten. Dieses Maß an Automatisierung hilft, menschliche Fehler und Variabilität im Herstellungsprozess zu reduzieren, was zu einer verbesserten Ausbeute und Geräteleistung führt. Darüber hinaus verfügt das Modell AIO/RITE TRACK SVG 90 über eine umfassende Software-Suite, mit der Benutzer verschiedene Parameter des Lithographieprozesses programmieren und steuern können. Die Software ermöglicht die Echtzeit-Überwachung und Einstellung kritischer Prozessvariablen wie Drehgeschwindigkeit, Ausgabevolumen und Backtemperatur, um optimale Photoresist-Musterergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, detaillierte Prozessberichte und Datenprotokolle zur Qualitätskontrolle und Rückverfolgbarkeit zu erstellen. In Bezug auf die Leistung bietet das AIO SVG 90-System hohe Durchsatzmöglichkeiten und ermöglicht eine schnelle und effiziente Verarbeitung großer Chargen von Wafern. Das Gerät ist so konzipiert, dass es den anspruchsvollen Anforderungen von Produktionsanlagen für Hochvolumenhalbleiter gerecht wird, in denen eine enge Prozesskontrolle und Konsistenz für die Erfüllung von Qualitätsstandards und Produktionszielen unerlässlich sind. RITE TRACK SVG 90 zeichnet sich durch eine hochauflösende Strukturierung von Submikronmerkmalen aus, die die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente mit komplizierten Geometrien ermöglicht. Insgesamt ist SVG 90 eine hochmoderne Photolackmaschine, die es Halbleiterherstellern ermöglicht, eine präzise und zuverlässige Strukturierung von Photolackmaterialien für die Herstellung von hochmodernen Halbleiterbauelementen zu erreichen. Mit seinen fortschrittlichen Technologien, Automatisierungsfunktionen und Leistungsmerkmalen spielt AIO/RITE TRACK SVG 90 eine entscheidende Rolle bei der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie und -innovation.
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