Gebraucht ALLTEQ L1600 #293748752 zu verkaufen

ALLTEQ L1600 ist eine hochpräzise automatisierte Photolackausrüstung, die den hohen Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Das System ist kompakt aufgebaut und bietet eine breite Palette von Off-Axis-Beleuchtungswerkzeugen für zahlreiche Anwendungen wie Wafer-Scanning, 5x-Reduction-Scanning, Darkfield-Scanning und 4x-Reduction-Imaging-Lithographie. L1600 Gerät nutzt eine hochmoderne digitale CCD-Bildgebungsmaschine, die die Erfassung von Bilddaten mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit ermöglicht. Das Tool umfasst außerdem eine komplette Palette von Wafer-Positionsüberwachung, Temperaturkontrolle und Autofokus-Funktionen sowie Optionen für eine Vielzahl von Lithographiemustern, Projektmodi und Softwaresteuerungsfunktionen. Das Asset bietet eine breite Palette von Belichtungsauflösungen, von ¼ -µm bis 4 µm, und Vollfeld, µm-dynamische Tiefenschärfe (DOF) Steuerung. Darüber hinaus bietet das Modell kontrastreiche Bildgebung und eine hochauflösende, hochgenaue Ätzfunktion, um den 6-Zoll-Wafer-Produktionsprozess zu erleichtern. Das Gerät verfügt auch über vier großaperture Design-Objektive, die bis zu 0,3 µm DOF über einen weiten Wellenlängenbereich bereitstellen können. Darüber hinaus ist das System vollständig mit mehreren Bildverarbeitungs- und Bildverstärkungsalgorithmen kompatibel und kann mehrere Kunstdateien und mehrere Belichtungsköpfe gleichzeitig steuern. Schließlich verfügt ALLTEQ L1600 über eine fortschrittliche Kalibriertechnologie, die sowohl chemische Reaktoren als auch die dazugehörigen Lampen automatisch kalibrieren kann und eine schnelle Prozessoptimierung ermöglicht. Die integrierte Scaneinheit bietet eine Echtzeit-Fokusüberwachung auf Subwellenlängengengenauigkeit während des gesamten Prozesses und schont wertvolle Zeit und Ressourcen während des Produktionsprozesses.