Gebraucht AND ASP-2000 #9373108 zu verkaufen

AND ASP-2000 ist eine Photoresist-Ausrüstung von Nihon TechnoChem, die für die fortschrittliche Photolithographie verwendet wird. Dieses System verwendet eine Kombination aus Licht, Lösungsmitteln UND ultravioletter Strahlung, um Muster auf ein Substrat wie Siliziumscheiben zu ätzen. ASP-2000 können je nach Anwendung mit ein- oder zweiseitigen Wafern arbeiten. Zunächst werden die Wafer mit einer speziellen Kombination von nichtwässrigen, polaren UND protischen Lösungsmitteln behandelt, um Verunreinigungen zu entfernen. Dadurch wird auch sichergestellt, daß die aufgebrachte Photolackschicht gleichmäßig auf dem Substrat haftet. Nach dem Vorpreppen des Wafers trägt AND ASP-2000 eine Photolackbeschichtung auf. Das Gerät ist so konzipiert, dass verschiedene Arten von Fotolack in Abhängigkeit von den für eine bestimmte Anwendung erforderlichen Merkmalsmaßen gewählt werden können. Nach dem Aufbringen des Fotolacks wird der Wafer Wellenlängen von Licht ausgesetzt, die den zu erzeugenden Formen UND Mustern entsprechen. Das Licht wird mehrmals über die Wafer geleitet, wodurch Schichten aus Photolack mit unterschiedlichen chemischen Eigenschaften aufgebracht werden können. An dieser Stelle ist der Wafer entwicklungsbereit. Je nach Anwendung kann mit einem Sauerstoffplasma oder einer luftbasierten Methode die belichteten Muster in den Photoresist geätzt werden. Während dieses Schrittes entfernt die Luft oder das Plasma eventuell verbleibende Verunreinigungen UND grundiert auch den Photolack, so dass er später leichter entfernt werden kann. Schließlich wird der unerwünschte Photoresist durch eine Kombination von beheizten Bädern UND chemischen Behandlungen entfernt, wobei die gewünschten Muster auf dem Substrat verbleiben. Wenn ein doppelseitiger Wafer verarbeitet werden muss, werden die gleichen Schritte auf der zweiten Seite wiederholt. ASP-2000 ist eine leistungsstarke UND vielseitige Photolackmaschine, die für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann. Es ist sehr zuverlässig, mit einem hohen Durchsatz Fähigkeiten, so dass es eine beliebte Wahl unter Chip-Hersteller.