Gebraucht AND ASP-2000X #9409925 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9409925
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2008
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
2008 vintage.
AND ASP-2000X ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine breite Palette von mikroelektronischen und optoelektronischen Prozessen unterstützt. Es besteht aus Präzisionsoptiken, Bildgebungs-, Verarbeitungs- UND Steuerungsmodulen, die eine leistungsstarke, kostengünstige Photoresist-Lösung liefern. Das System bietet zwei verschiedene Arten von Belichtung, Laser UND Licht. Die Laserbelichtungseinheit arbeitet im Wellenlängenbereich von 193 bis 400 nm UND die Belichtungszeit für Einzelbelichtung ist von 0,5 bis 999 Sekunden steuerbar. Die Maschine ist mit einer hochauflösenden Flachfeldprojektionsoptik mit einer numerischen Apertur von 0,5 ausgestattet. Es bietet eine ausgezeichnete Flachfeldbeleuchtung in einem sehr weiten Bereich. Das Lichtbelichtungswerkzeug bietet eine maximale Belichtungszeit von bis zu 999 Sekunden UND hat einen Arbeitswellenlängenbereich von 400 bis 750 nm. Es hat eine kürzere Belichtungszeit als das Laser-Asset, UND bietet einen Hochgeschwindigkeits-programmierbaren Flachfeldprojektor. Das Modell enthält einen Abtastmechanismus, der eine Substratbewegung während des Belichtungsprozesses ermöglicht. Dadurch kann der Bediener sicherstellen, dass die Belichtung über das gesamte Substratvolumen erfolgt. Die Abtastbewegung kann in drei verschiedene Richtungen erfolgen: X-Achse, Y-Achse UND Z-Achse. Das Gerät enthält einen Bildprozessor, mit dem der Benutzer sowohl die Belichtungsparameter als AUCH das erhaltene Bild mit hoher Präzision steuern kann. Der Bildprozessor kann auch verwendet werden, um das Bild der belichteten Bereiche mit den genauen Koordinaten zu vergleichen, die in das System geschrieben sind und Korrekturmaßnahmen zu ergreifen, wenn Abweichungen festgestellt werden. Das Gerät integriert eine komplette Palette von Steuerungsfunktionen, bietet Fernbedienung UND Steuerung, sowie Datenprotokollierung. Es ist auch mit einer Vielzahl von anderen Systemen verbunden, so dass maximale Kontrolle UND Flexibilität. Mit ASP-2000X Photoresist-Maschine wird der Anwender mit höchster Präzision UND Genauigkeit für seinen lithographischen Betrieb versehen. Das Tool ist benutzerfreundlich, schnell UND bietet eine flexible, kostengünstige Lösung für eine Vielzahl von Mikroelektronik- UND Optoelektronik-Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor