Gebraucht AXCELIS / FUSION R850 #9134042 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION R850 ist eine Photolackausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Schaltungsmustern auf Substraten verwendet wird. Es ist das fortschrittlichste Widerstandsstreifenwerkzeug, das eine sehr vielseitige Plattform bietet, um Innovationen und Leistung in der Fertigung voranzutreiben. FUSION R850 verwendet fortschrittliche Lithographie- und Ätzwerkzeuge, um mehrere Materialstreifenanwendungen zu ermöglichen. Es verfügt über ein hybrides Open-Loop/Closed-Loop Control-System zur Aufnahme komplexer Prozessabläufe. Der Open-Loop Control-Algorithmus bietet Anwendern eine größere Kontrolle über den Prozessablauf, indem prädiktive Steueralgorithmen verwendet werden, um Wafer-zu-Wafer-Varianzen in der Photolackbelichtung und Ätzleistung zu kompensieren. Die Closed-Loop Control-Einheit ermöglicht in-situ Layer-to-Layer-Messtechnik mit Echtzeit-Feedback, um Wiederholbarkeit und präzise Bildauflösung zu gewährleisten. Im Mittelpunkt der AXCELIS R850 Maschine steht die FUSION proprietäre Open Process Champion Technologie. Dieses softwaregesteuerte Analysetool bietet eine Echtzeit-Analyse von Prozessdaten und Trends, die verwendet werden können, um Rezepte zu verfeinern und Zykluszeiten zu reduzieren. Diese Flexibilität bei der Prozessoptimierung ebnet den Weg für höhere Ausbeuten und eine bessere Steuerung des Resiststreifenprozessflusses. R850 Werkzeug unterstützt eine breite Palette von Photolackmaterialien. Die Anlage ist in der Lage, die Mikrolithographie-Prozesse auf Mikroniveau zu handhaben, die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit Funktionen bis zu 20nm verwendet werden. Darüber hinaus bietet es optimale Ausbeuten durch den Einsatz fortschrittlicher Partikelentfernungsstrategien und die automatisierte Detektion von Resiststreifendefekten. Dieses anspruchsvolle Photoresist-Modell wurde entwickelt, um Kosten zu reduzieren, den Prozessfluss zu verbessern und die Erträge zu erhöhen. Durch die Optimierung von Rezepten hilft AXCELIS/FUSION R850 Geräten Herstellern, Halbleiterbauelemente effizienter herzustellen und gleichzeitig die Qualität des Endprodukts zu verbessern.