Gebraucht BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III #293769460 zu verkaufen
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ID: 293769460
Weinlese: 2020
Optical coating machine
POLYCOLD PFC-1102 HC Water vapor cryo chiller (PN: 700201-42-60)
BUSCH R5 URA0305.D5Z6.1003 Vacuum pump with booster
(2) Muco DRG 1.6 Transformers
DRG 2.5 Transformer
REGLOPLAS 90S/6/TS22/1 K/RT32 Temperature control unit
SELLA MXH 404E-S XAN119ML05 Temperature control unit
SELLA SA 6/0/MXH404+MIX XAS116ML02 Temperature control unit
Parts included:
EATON NOVA / AXCELIS 9SX 1000 UPS
BECKHOFF C5240 Industrial PC
LOOA-10759-001 Power supply
LOOA-11214-001
LOOB-12236-001
BRP 1250 A 0305 ZX Pump
WP 1250 D 2V3 ZZZZ Booster
(3) EK96006 Oil filters
(2) Rolls
LAIPPLE M63a4 Carrousel motor with NMS30 Gear box
SATISHLOH 92-005-180 Filter
(3) LOOA-10803-001 O-Rings 1853 x 8, 102105885
(2) SATISLOH O-Rings, 1577 x 10, 50-900-455
(3) O-Rings
HONEYWELL F76S1049 Water Filter
KH1098 722C-050-580-BE Gas regulator
KH1095 722C-050-540-BE Gas regulator
(2) REG HBS 200-3-2,5 Gas regulators
SCHNEIDER Optical 627-70-218 Welding protection glass
BROOKS AUTOMATION 5850E 5850EC4BE4LB2A Flow controller
GOULDS M100V3VB96012 Spare chiller ball valve
EGE SDN 11306 Flow controller
GRANVILLE PHILLIPS 392401-0-YK-P Vacuum gauge
Chamber glass porthole spare glass
(10) LOLB-11785-001 WC45DU Thrust washers, 48 x 74 x 2
(5) LONT-19257-001 MB 4530DU Bushings
(5) LOOA-14389-001 Arm rights, 1.4301
(4) Bolts with wing nuts, 12"
Box with mount and bolts
(2) LOLP-11536-001 Gaskets
(3) 102128508 Anodes
LONT-18676-001 Anode thermal transfer sheet 42663-24
(10) 426663-24
(2) LONT-18675
(20) SWAGELOK SS-8-VCR-2-GR VCR Face seal gaskets
426663-9 80345336 RD-19-C-05 Ins, Pole piece, Mark II +
(3) LOOA-11111-001 Gas distributors
LONT-18688-001 Power cable anode
(2) LONT-18687-001 Output connector sputter cathodes
(2) LOOA-11105-001 Pole piece insulators
REL-MR-24DC/1IC Relay 2961341
(4) LOST-10517-001 Insulators, 10-32M
(4) Insulators
(23) LONT-18352-001 Hex nuts, M2
426663-21 C Conn, Anode power, M, Mark II +
(16) 426869 Screws, SS, 2-56 x .375 Slotted pan head AU
LONT-18689-001 Standoff insulator anode stack
LOOA-10279-001 Protective sheet for HPE6
(15) 0201-SS-502 Hex nuts, SS, 2-56
(2) LOOS-22159-001 Ion source gas lines
LONT-18734-001 Bellow hose with adapter
(7) LONT-18397-001 O-Rings, 100 x 5 FKM 70 Shore
LONT-18670-001 O-Ring, 260 x 3 FKM 70 Shore
LONT-13951-001 O-Ring, 105 x 5 FKM 83 Shore
(2) LONT-10432-001 O-Rings, 28.3 x 1.78 FKM 70 Shore
(10) LONT-10081-001 O-Rings, 42 x 5 FKM 70 Shore
(4) LONT-18210-001 O-Rings, 45 x 3 FKM 70 Shore
(2) LONT-16277 O-Ring
LONT-18397 O-Ring
(3) LONT-16277-001 O-Rings, 75 x 5 FKM 83 Shore
(17) LONT-10077-001 O-Rings, 18 x 5 FKM 70 Shore
(15) LONT-10152-001 O-Rings, 158.1 x 5.33 FKM 75 Shore
(2) LONT-18647-001 Seals
LONT-19186-001 Lip seal 10 x 15 L 2130 NBR 60
(3) LONT-13476-001 O-Rings, 48 x 5 FKM 70 Shore
(2) LONT-13914-001 O-Rings, 55 x 5
(2) LONT-10431-001 O-Rings, 17.04 x 3.53 Vi563 70 Shore
LONT-18121-001 O-Ring, 55 x 4 NBR 70 Shore
LONT-18127-001 O-Ring, 305 x 5 FKM 70 Shore
(21) LONT-18160-001 GN 615-M 5-KN
(2) LONT-10156-001 O-Rings, 56.87 x 1.78 FKM 70 Shore
(2) LONT-18728-001 Safety couplings
(2) LONT-18731-001 Free wheel bearings
LOOA-10337-001 Stab
(2) LOOA-11337-001 Shafts with shoulder
(2) LONT-18730-001 Bearings
LOOA-10711-001 vacuum feedthrough
(6) LONT-16986-001 21 x 30 x 2 Flat gaskets
(4) LONT-18730-001 Bearings,102059884 Zyl-Shr M8x16 DIN 6912 CUNI1.5SIF60
BINDER 9920141005 M16 Female Connector
(2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-14540-001 M6 x 30 Screws
(2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18092-001 parallel pin 6 m, 6 x 28 DIN 7 SS
(6) LONT-18730-001 Bearings, LONT-10164-001 M6 x 20 Screws
(2) LONT-18730-001 Bearings, LOOA-11336-001 Disc washer
(2) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18726-001 Disc washer
(19) LONT-18730-001 Bearings, LONT-18351-001 Spring Disc 4,75 x 2, 36 x 0, 25 x 0, 38 1.4301
(5) LONT-18730-001 Bearings, 42360293 Holder f, Shudder
Misc fittings and screws
Crystal head with small box of spare parts
BINDER with labels and electrical diagram
INFICON Thin film instrument and sensor manuals CD
(2) LONT-18456-001 Micro-Ion 354
Vacuum tube, 5"
INFICON PSG500-S
DB9 Serial cable
SCHNEIDER LC1D09G7 Contactor
LONT-18690-001 Cable
(2) UNN-14028-004 Retaining rings, 8 x 0.8
LONT-18212-001 O-Ring, 86 x 3 FKM 70 Shore
(2) LONT-16277-001 O-Rings, 75 x 5 FKM 83 Shore
(6) LONT-18209-001 Quad ring, 19,60 x 24, 84 x 2, 62 x M-19 FPM 70
(6) UVN-56001-047 Deep groove ball bearings 6000 2Z
(2) LOOA-10319-001 Socket head cap screws M4 x 6 DIN 912 SS
LONT-18733-001 Microswitch
102096404 Bearing for crucible plate
(2) LONT-18234-001 Safety couplings KBK7BK-SG-10
(6) 102130047 Gas distributors
(2) Large fixtures with (6) Blades
(3) 426663-9 Insulators, Pole piece, Mark II+
(3) 0201-SS-502 Nuts, SS, 2-56,HEX
427072 Washer, SS, FLT, 089I.D.x.187O.D.x.031 T
426663-27 SHT, Thermal transfer, Gas, Dist, Mark II+
IS16637 Gas distributor
(2) 426871 Screws, SS, 10-32 x 1.938,SHCS,AU
(3) 426869 Screws, SS, 2-56 x 375 SLTD PAN HD AU
(3) 04-FL Washers, SS FLT, 220D x .115 x .016T
(2) 0201-SS-718 Washers, SS, FLT, 440D x .202 x .030T.PREC
426663-24 SHT, Thermal transfer, Anode, Mark II+
426663-25 SHT, Thermal transfer, H2O PLT, Mark II+
LOOA-11324-001 SF-CuF25 Protective hood bottom
(2) Circular plates
Large fixture with (5) Shelf / arms
(3) Pallets
Circular part with (4) Curved legs
Large vacuum tube
(2) Large boxes of rings
Wypall wipers stand
(11) Semi circular flat gray metal parts with holes
HAMMOND POWER SOLUTIONS Sentinel 211718 Transformer, 480 V to 400 Y / 231 V, 500 kVA
Manuals included
2020 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die für hochleistungsfähige, präzise optische Beschichtungsanwendungen in Branchen wie Halbleiter, Telekommunikation und Photonik entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System integriert modernste Technologie und überlegene Technik, um außergewöhnliche Beschichtungsqualität, Prozesskontrolle und Produktivität zu liefern. Herzstück der BUHLER Syrus 1350 LC III Einheit ist die ausgeklügelte Vakuum-Abscheidekammer, die eine kontrollierte Umgebung zum Abscheiden von dünnen Schichten aus Photoresistmaterial auf eine Vielzahl von Substraten mit Präzision und Wiederholbarkeit bietet. Die Kammer ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einem Substrathalter mit hoher Kapazität, Präzisionsbewegungssteuerung und In-situ-Messtechnik-Tools für die Echtzeitüberwachung und -steuerung des Beschichtungsprozesses ausgestattet. Eines der wichtigsten Highlights der LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III Maschine ist seine Fähigkeit, ultradünne und gleichmäßige Beschichtungen auf Substraten verschiedener Größen und Formen zu erreichen. Diese Fähigkeit ist entscheidend für Anwendungen, die eine genaue Kontrolle der Dicke und optischen Eigenschaften der Photolackschicht erfordern, wie z.B. bei der Herstellung von optischen Filtern, Antireflexbeschichtungen und Wellenleiterbauelementen. Der Abscheidungsprozess des Werkzeugs basiert auf einer Kombination aus physikalischer Dampfabscheidung (PVD) und chemischer Dampfabscheidung (CVD), die die Abscheidung einer Vielzahl von Photolackmaterialien mit unterschiedlichen Eigenschaften und Leistungseigenschaften ermöglicht. Durch die Anpassung der Prozessparameter können Anwender den Abscheidungsprozess auf spezifische Anwendungsanforderungen wie Haftfestigkeit, optische Transparenz und chemische Beständigkeit anpassen. Syrus 1350 LC III Asset ist mit einer umfassenden Reihe von Prozesskontrollen und Automatisierungsfunktionen ausgestattet, um eine konsistente und zuverlässige Beschichtungsleistung zu gewährleisten. Dazu gehören fortgeschrittene Plasmareinigungs- und Aktivierungsmöglichkeiten, Substratheiz- und Kühloptionen sowie integrierte Gasflussregelungssysteme. Darüber hinaus ist das Modell auf einfache Bedienung ausgelegt, mit benutzerfreundlichen Schnittstellen und intuitiver Software zur Programmierung und Überwachung des Beschichtungsprozesses. In Bezug auf die Leistung, BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus 1350 LC III Ausrüstung bietet ausgezeichnete Beschichtung Gleichmäßigkeit, hohe Abscheidungsraten und niedrige Defekte, so dass es ideal für Serienumgebungen mit hohem Durchsatz und Ertrag. Die Präzisionsbeschichtungsfähigkeiten des Systems ermöglichen die Herstellung komplexer optischer Beschichtungen mit engen Toleranzen und Spezifikationen, die den hohen Qualitätsanforderungen der Branche entsprechen. Insgesamt stellt die Photolackeinheit BUHLER Syrus 1350 LC III eine hochmoderne Lösung für anspruchsvolle optische Beschichtungsanwendungen dar, die überlegene Leistung, Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. Mit fortschrittlicher Technologie, robustem Design und benutzerfreundlichen Funktionen eignet sich diese Maschine für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, Telekommunikations- und Photonik-Industrie, wo hochwertige optische Beschichtungen für optimale Geräteleistung und -funktionalität unerlässlich sind.
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