Gebraucht BUHLER / LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION #293771029 zu verkaufen
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ID: 293771029
Optical coating machine
Stainless steel chamber
Optical monitoring system
(2) Polarization filters
Water cooled
Water distribution system (Warm / Cold)
Calorimetric water flow sensor
Electrical cabinet
Graphical User Interface (GUI)
TFT Touch screen, 19"
Uninterruptible Power Supply (UPS)
Remote service system
Material: Stainless steel
Vacuum pump
High vacuum flange size: DN500
Pumping capacity: 300 m³/h
Final pressure: 5x10-3 mbar
Cryo pump type: Coolvac 10000 iCL
Compressor unit type: Coolpak CP 6000
Gas flow range: 1.6-300 SCCM
LION 300 RF-Plasma source
Line voltage: 3 AC 400 V / 230 V
Frequency: 50 Hz
Substrate drive:
Adjustable speed range: 3-33 1/min
Rated power: 25 kW
Substrate load: 250 kg
Substrate heater:
Heater power: 52 kW
Temperature: 300°C
Chamber:
Inner diameter: 350 mm
Inner height: 1550 mm
Features:
Manual mode (Preparation service and maintenance) / Automatic mode (Machine / Process control)
Electron beam evaporator:
Deflection: 270°
Power: 6 kW
Crucible diameter: 320 mm
Floor space: 35 m²
Power supply: 10 kW, 13156 MHz, 1000 mA, AC 0-6 V.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION ist eine Hochleistungs-Photolackausrüstung, die für fortschrittliche Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System bietet präzise und zuverlässige Photolackverarbeitungsfunktionen und ist damit eine ideale Lösung für die Herstellung von integrierten Schaltungen, MEMS-Geräten und anderen mikroelektronischen Komponenten. Im Zentrum der BUHLER Syrus Pro 1350 LION-Einheit steht die fortschrittliche Lithographietechnologie, die die präzise Strukturierung von Photolackschichten auf Halbleitersubstraten ermöglicht. Die Maschine verfügt über einen hochauflösenden Maskenausrichter mit Submikron-Ausrichtungsgenauigkeit, der die Erstellung komplexer und komplizierter Muster mit außergewöhnlicher Präzision ermöglicht. Diese Fähigkeit ist wesentlich, um die in modernen Halbleiterherstellungsprozessen geforderten engen Maßtoleranzen zu erreichen. Eines der wichtigsten Merkmale von LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION Werkzeug ist seine Fähigkeit, eine breite Palette von Fotolack Materialien unterzubringen, einschließlich positiver und negativer Ton widersteht. Diese Flexibilität ermöglicht es Halbleiterherstellern, den am besten geeigneten Photolack für ihre spezifischen Prozessanforderungen auszuwählen und die Leistung und Ausbeute der Bauelemente zu optimieren. Die Kompatibilität des Vermögenswertes mit verschiedenen Fotoresist-Formulierungen erhöht auch seine Vielseitigkeit und Anwendbarkeit auf verschiedene Fertigungsszenarien. Das Modell Syrus Pro 1350 LION verfügt über ein modernes UV-Belichtungsgerät mit hochintensiven Lichtquellen und präzisen Belichtungssteuerungsmechanismen. Dies gewährleistet eine gleichmäßige und konsistente Belichtung der Photolackschichten über das Substrat, wodurch Unterschiede in der Musterqualität und Maßhaltigkeit minimiert werden. Die Belichtungsparameter des Systems können fein abgestimmt werden, um die spezifischen Verarbeitungsanforderungen verschiedener Photolackmaterialien zu erfüllen und so optimale Musterergebnisse bei hoher Wiederholbarkeit zu erzielen. Zusätzlich zu seinen Lithographie-Fähigkeiten bietet BUHLER/LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION eine Reihe von Zusatzfunktionen zur Unterstützung einer effizienten Photolackverarbeitung. Dazu gehören eine integrierte Wafer Handling Robotik zum automatisierten Be- und Entladen von Substraten sowie eine umfassende Benutzeroberfläche zur Programmierung und Überwachung von Prozessparametern. Das benutzerfreundliche Design und die intuitive Bedienung der Maschine machen es Halbleiterherstellern leicht, Photolackverarbeitungssequenzen mit minimalem Training und Aufsicht einzurichten und auszuführen. BUHLER Syrus Pro 1350 LION Tool ist für Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz konzipiert, mit schnellen Zykluszeiten und effizienten Workflow-Management-Funktionen. Die robuste Konstruktion und zuverlässige Leistung der Anlage gewährleisten einen kontinuierlichen Betrieb und langfristige Stabilität, minimieren Ausfallzeiten und maximieren die Produktivität. Der modulare Aufbau ermöglicht auch einfache Upgrades und Anpassungsoptionen, um den sich entwickelnden Prozessanforderungen und technologischen Fortschritten in der Halbleiterherstellung gerecht zu werden. Insgesamt stellt das LEYBOLD OPTICS Syrus Pro 1350 LION Photolackmodell eine hochmoderne Lösung für Halbleiterhersteller dar, die beispiellose Präzision, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit in der Photolackverarbeitung suchen. Mit seiner fortschrittlichen Lithographietechnologie, der Kompatibilität mit einer Vielzahl von Photolackmaterialien und umfassenden Automatisierungsfunktionen bietet Syrus Pro 1350 LION eine umfassende Lösung für hochwertige Halbleiterbauelemente mit hervorragenden Leistungseigenschaften.
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