Gebraucht BUHLER / LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 #293741528 zu verkaufen
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ID: 293741528
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2007
Coating machine, 6"-8"
Chamber, 700 mm
Control system
POLYCOLD PFC 672 Cooling system
Meissner trap
Evaporation shielding set
DP250A Oil-free vacuum pump
DP80 Single stage screw pump
Root pump
TPH 2101 Turbomolecular pump with automatic sequence control and interlock
Process gas with pressure control (oxygen)
Substrate drive
Single flat plate substrate holder, 6"-8"
Uniformity mask
Substrate heater ceramic, 5.2 kW
PIAD (Plasma Ion Assisted Deposition Sources)
Advanced plasma source
Anode tube
Tool set
LaB6 Cathode
(2) Spare ceramic rings
Graphite heater
Crucible 1- pocket 102/17 for HPE 6
Electron beam evaporator
XMS Quartz crystal measurement system
(10) Quartz Crystals
XMS Dual quartz crystal sensor head
Electrical power connection: 60 Hz
2007 vintage.
BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die für moderne Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses Präzisionswerkzeug ist ein entscheidender Bestandteil bei der Herstellung von elektronischen Geräten wie integrierten Schaltungen, Mikroprozessoren und Speicherchips. BUHLER SYRUSpro 710 bietet beispiellose Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Effizienz im Photolithographie-Prozess, so dass Hersteller höhere Erträge und überlegene Geräteleistungen erzielen können. Im Zentrum von LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710 steht das fortschrittliche optische System, das modernste Technologien nutzt, um außergewöhnliche Auflösungs- und Ausrichtungsfunktionen zu bieten. Das Gerät verfügt über eine leistungsstarke Lichtquelle, präzise Optik und ausgefeilte Ausrichtungsalgorithmen, um eine präzise Strukturierung von Photolackmaterialien auf Halbleitersubstraten zu gewährleisten. Die Maschine ist in der Lage, Submikron-Auflösung zu erreichen, so dass es ideal für die Herstellung von Geräten mit immer kleineren Merkmalsgrößen. SYRUSpro 710 bietet eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die es zu einem vielseitigen Werkzeug für die Halbleiterherstellung machen. Ein wesentliches Merkmal ist seine Multi-Wellenlängen-Fähigkeit, so dass Benutzer unterschiedliche Wellenlängen des Lichts abhängig von den Anforderungen des spezifischen Prozesses oder des verwendeten Materials wählen können. Diese Flexibilität ermöglicht es dem Werkzeug, eine breite Palette von Anwendungen und Materialien aufzunehmen, was seine Nutzbarkeit und Wirtschaftlichkeit verbessert. Neben dem fortschrittlichen optischen Asset ist BUHLER SYRUS PRO 710 mit einem ausgeklügelten Automatisierungsmodell ausgestattet, das den Photolithographieprozess optimiert und menschliches Versagen minimiert. Das Gerät verfügt über intelligente Softwaresteuerungen, die es Anwendern ermöglichen, komplexe Belichtungsmuster mit Leichtigkeit und Präzision zu programmieren. Diese Automatisierungsfähigkeit verbessert nicht nur die Produktivität, sondern sorgt auch für konsistente und reproduzierbare Ergebnisse, die für die Herstellung von großvolumigen Halbleitern entscheidend sind. BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUS PRO 710 ist für Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz konzipiert, mit Funktionen, die die Effizienz optimieren und Zykluszeiten reduzieren. Das System verfügt über eine Hochgeschwindigkeitsstufe für schnelle Substratpositionierung und -belichtung, Minimierung von Ausfallzeiten und Maximierung des Produktionsdurchsatzes. Darüber hinaus verfügt das Gerät über erweiterte Wafer-Handhabungsfunktionen, einschließlich automatisierter Be- und Entladesysteme, was seine Produktivität und Skalierbarkeit weiter verbessert. Einer der Hauptvorteile von SYRUS PRO 710 ist seine Zuverlässigkeit und Stabilität, die eine gleichbleibende Leistung über längere Betriebszeiten gewährleistet. Die Maschine wurde entwickelt, um in Reinraumumgebungen zu arbeiten, mit robuster Konstruktion und fortschrittlichen Kontaminationskontrollfunktionen, um die Integrität des Photolithographie-Prozesses zu erhalten. Diese Zuverlässigkeit ist wesentlich für Halbleiterhersteller, die hohe Erträge und gleichbleibende Gerätequalität erzielen wollen. Insgesamt setzt LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 einen neuen Standard für die Präzisions-Photolithographie in der Halbleiterherstellung. Mit seinem fortschrittlichen optischen Tool, den Automatisierungsfunktionen und dem Design mit hohem Durchsatz bietet das Asset beispiellose Leistung und Vielseitigkeit für die Herstellung von elektronischen Geräten der nächsten Generation. Halbleiterhersteller können sich auf BUHLER/LEYBOLD OPTICS SYRUSpro 710 verlassen, um ihre anspruchsvollsten Musteranforderungen zu erfüllen und auf kostengünstige und effiziente Weise eine überlegene Geräteleistung zu erzielen.
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