Gebraucht CALI-TECH CT-608D #9151584 zu verkaufen
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CALI-TECH CT-608D Photoresist Equipment ist ein fortschrittliches, leistungsstarkes Ätz- und Abscheidungswerkzeug für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist ideal für Sputter- und Plasmaätzverfahren sowie Dünnschichtabscheidung und Resiststreifen. Das System verfügt über eine große Kammer, die eine breite Palette von Substraten aufnehmen kann - bis zu 6 Zoll im Durchmesser. Seine vertikale Konstruktion ermöglicht einen einfachen Zugang zum Kammerinnenraum, für eine einfache Wartung und Bearbeitungsflexibilität. Das Gerät verwendet fortschrittliche Massendurchflussregler, um Prozessgase zu regulieren und eine Präzisionsregelung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über innovative Plasmageneratoren und passende Netzwerksysteme zur optimierten Plasmaerzeugung. CT-608D Photoresist Machine ist für Hochleistungs-Ätz- und Abscheideprozesse konzipiert. Es ist mit präzisen Photolithographie-Werkzeugen und Controllern ausgestattet, die eine genaue Definition von Geometrien und Abmessungen auf Substraten ermöglichen. Die Photolithographie-Werkzeuge ermöglichen Lichtdurchlässigkeit, Belichtung, ultraviolette (UV) Strahlung und Post-Exposure-Backen, sowie Deep-UV-Resistlicht Belichtung. Um die bestmögliche Ätzgleichmäßigkeit zu gewährleisten, verwendet das Tool proprietäre Pulsleistungsmodule (PPMs). Dies ermöglicht eine einstellbare Pulsfrequenz, Pulsbreite und Impulsenergie für ein bestmögliches Ergebnis. CALI-TECH CT-608D Photoresist Asset umfasst auch ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das zur Überwachung der Integrität des Photoresistmusters und des Niveaus der in die Probenoberfläche implantierten Ionenenergie verwendet werden kann. CT-608D Photoresist Modell bietet hervorragende Prozess- und Kühlfunktionen. Das Gerät verfügt über eine dynamische Sprühkühlung (DSC), die eine gleichmäßige Kühlung der gesamten Oberfläche des Substrats ermöglicht und gleichzeitig ein zufriedenstellendes Temperaturprofil aufrechterhält. Seine Kühlfunktionen ermöglichen schnelle Prozesse mit minimalen Temperaturstabilisierungszeiten, was einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Das System umfasst auch Wärmestrahlungsabschirmungen und Lärmschutzwände, um die Auswirkungen niederfrequenter Umgebungsgeräusche auf die Prozesskammer zu reduzieren. Zur Verringerung der Umweltbelastung umfasst das Gerät Luft- und Gasradsysteme, die überschüssige Materialien sicher abwerfen. CALI-TECH CT-608D Photoresist Machine ist ein unglaublich leistungsfähiges Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Seine fortschrittlichen Werkzeugfunktionen ermöglichen Prozessflexibilität und geringe Umweltbelastung, während seine Präzisions-Photolithographie und die gepulste Energietechnologie hochpräzises Ätzen und Abscheiden ermöglichen. Mit CT-608D Photoresist Asset können Anwender zuverlässige und hochwertige Substrate mit minimalem Aufwand herstellen.
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