Gebraucht CARL ZEISS ZBA 21 #9208417 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9208417
Wafergröße: 6"
Electron beam lithography system, 6"
Includes:
Variable shaped system
Shot size: 100×100 nm² - 6.3×6.3 µm²
Maximal substrate: 7" Square
Electron energy: 20 keV
Manuals
Spare parts
Micro components :
Microelectronics
Reticles
Grids
Resolution target
Micro lens
Fresnel lens
Diffractive optical elements
Computer generated holograms
~1990 vintage.
CARL ZEISS ZBA 21 Photoresist Equipment ist ein fortschrittliches Resistsystem mit einer branchenführenden Fokustiefe für Präzisionsbildgebung. Dieses Gerät optimiert eine breite Palette von Lithographieanwendungen von fortschrittlichen Substraten bis hin zu Spezialanwendungen und ist mit ausgewählten Belichtungswellenlängen kompatibel. Es verfügt über eine automatisierte Vision-Maschine basierend auf Computer-Vision-Technologie mit einer CCD-Kamera, die es sehr geeignet für F&E und Herstellung macht. Diese Funktion ermöglicht eine hochpräzise Ausrichtungssteuerung und automatisierte Fokusoptimierung. Darüber hinaus ist die Software in der Lage, sich intelligent auf Substrat- und Resisttyp, Schichtdicke und andere Funktionen einzustellen, die die Leistung des Werkzeugs beeinflussen können. ZBA 21 hat eine Prozessgeschwindigkeit von bis zu 650 Wafern pro Stunde, mit einer Wiederholgenauigkeit von 3 µm in XY-Richtung und einer feinen Steigungsfähigkeit von 15 µm auf 6 "Wafern. Sein Belichtungswellenlängenbereich liegt zwischen 157nm und 400nm, was das Asset für die Verbesserung der Geräteleistung, die Overlay-Registrierung und andere Produktionsanforderungen weiter optimiert. Darüber hinaus bietet das Photoresist-Modell eine bessere Gleichmäßigkeits- und Linienbreitenkontrolle mit seinen fortschrittlichen technologischen Fähigkeiten wie der abstimmbaren Spektrumfunktion, mit der Benutzer die richtige Belichtungswellenlänge für ihre spezifischen Anforderungen auswählen und anpassen können. Seine dynamische Bildgebungstechnik ermöglicht es Anwendern auch, Bildgebungsmodi von tiefen bis zu flachen Tiefen zu optimieren. CARL ZEISS ZBA 21 kombiniert hochpräzise Bildgebungstechnologie und automatisierte Funktionen, um Anwendern eine hervorragende Photolithographie-Leistung mit gezielten Funktionen zu bieten. Das Design der Software-Schnittstelle, die Datenanalyse und die Selbstdiagnose ermöglichen es Anwendern, ihren Workflow zu optimieren und Entscheidungen vertrauensvoll zu treffen. Dies macht es eine große Auswahl für eine breite Palette von Engagements.
Es liegen noch keine Bewertungen vor