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CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Equipment ist ein System zur Verbesserung der Genauigkeit und Präzision von Photolithographie-Prozessen, die bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten verwendet werden. Das Gerät kombiniert eine hochauflösende optische Bildgebungsmaschine mit einem fortschrittlichen In-situ-Entwicklungswerkzeug, das Abscheide- und Nassätztechniken verwendet, um hochpräzise Funktionen mit einer Dicke von bis zu 250 nm zu schaffen. 8600 Photoresist Asset verwendet eine mehrschichtige Bildgebungstechnik, um einen hohen Kontrast zwischen entwickelten Funktionen und dem darunterliegenden Substrat zu erzielen. CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Model besteht aus einem hochauflösenden optischen Bildgebungsgerät zur präzisen Platzierung und Bildgebung von Mustern. Es erzeugt einen hohen Kontrast zwischen Photolackmerkmalen und dem darunterliegenden Substrat. Das System beinhaltet eine hochauflösende Bewegungssteuerung zur Präzisionsbelichtung während der Funktionsentwicklung. Für mehrschichtige Maskierungstechniken ist eine individuelle Schichtabbildung möglich. 8600 Photoresist Machine verwendet eine fortschrittliche, in-situ Abscheidetechnik, um Photoresist-Funktionen innerhalb der Entwicklungskammer zu optimieren. Diese Abscheidungstechnik besteht aus zwei Stufen, die eine nachentwickelte Abscheidung von Photoresist umfassen, gefolgt von einer flussgetriebenen Ätzung, um hochpräzise Merkmale zu schaffen. Das Ätzen wird mit einer Kombination aus naßchemischen Ätzmitteln und reaktiven Quellgasen durchgeführt, um die gewünschte Photoresist-KE-Geometrie zu erzeugen. CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Tool enthält auch fortschrittliche Software-Tools für die Photolithographie-Optimierung und Prozessautomatisierung. Es enthält mehrere Benutzeroberflächenoptionen, einschließlich grafischer, textbasierter und befehlszeilenbasierter Programmschnittstellen, um eine schnelle und einfache Einrichtung und Prozessänderung zu ermöglichen. Darüber hinaus nutzt das Asset ein intelligentes Automatisierungsmodell für eine einheitliche Funktionsentwicklung, das unterschiedliche Bedingungen in der Umgebung berücksichtigt. 8600 Photoresist Equipment bietet ausgezeichnete Genauigkeit und Präzision bei schnellen Durchlaufzeiten. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Hersteller, die den Durchsatz und die Zuverlässigkeit in ihren Photolithographie-Prozessen maximieren möchten. Dieses hochautomatisierte System kann zur Herstellung hochauflösender Muster mit überlegener Gleichmäßigkeit und gleichmäßigen Linienbreiten eingesetzt werden. Mit seinen automatisierten Softwaretools vereinfacht dieCLASS ONE TECHNOLOGIES CLASS ONE TECHNOLOGIES 8600 Photoresist Unit die Einrichtung und den Betrieb der Photolithographie.
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