Gebraucht CONVAC CRH 9S #54531 zu verkaufen
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ID: 54531
Weinlese: 1988
Spin coater
390v, 50hz, 5.5kva
Complete with spares and books
1988 vintage.
CONVAC CRH 9S Photoresist Equipment ist ein leistungsstarkes und präzises Werkzeug zur Trocknung und Gewinnung von Photoresist in der Halbleiterindustrie. Das System wurde entwickelt, um Kunden mit der neuesten modernsten Technologie zu versorgen, damit sie ihre Fertigungsziele erreichen können. Die Einheit ist eine Kombination aus einer Vielzahl von verschiedenen Komponenten, die jeweils ihre eigene Aufgabe erfüllen, um letztlich eine Präzisions-Photoresist-Film zu produzieren. Die Komponenten der CRH- 9S bestehen aus einer Transportvakuumkammer, einem Resistverdampfer, einer Kaskadenkammer, einem Aerosolnebelkonzentrator, einem Kondensator und einer Trommelrückgewinnungsmaschine. Die Transportvakuumkammer ist eine Kammer, in die der Fotolack geladen wird. Im Inneren wird der Photolack mit einem Vakuum beaufschlagt, das flüchtige Bestandteile aus dem Resist entfernt und eine gleichmäßige Abscheidung gewährleistet. Der Resist-Verdampfer ist ein Bauteil, das zur gleichmäßigen Verteilung des Resists auf das Substratmaterial arbeitet. Der erhitzte Verdampfer ist in der Lage, an der Oberfläche von Substratmaterialien genau anzukleben und dann gleichzeitig thermische Abscheidung durchzuführen, wodurch der Resist eine gleichmäßige Folie mit gleichmäßiger Dicke bilden kann. Die Kaskadenkammer arbeitet, um die Resisttröpfchen gleichmäßig zu dispergieren und dann den Resist in einem schnellen, konsistenten Tempo weiter auf das Substratmaterial zu verteilen. Die Kaskadenkammer hilft auch bei der Kontrolle der Gleichmäßigkeit des Resists, indem sie die Tröpfchen klein und gleichmäßig über das Substrat verteilt hält. Der Aerosolnebelkonzentrator arbeitet, um Fremdpartikel aus den Konzentrattröpfchen zu entfernen, während sie in der Kaskadenkammer zirkuliert werden. Diese Komponente erleichtert auch die Gewährleistung der Resistkonsistenz und Gleichmäßigkeit. Der Kondensator versorgt den Aerosolnebelkonzentrator, da er den Resist kondensiert und kühlt. Der Kondensator hilft auch, die Resisttemperatur zu regulieren, um zu verhindern, dass es in Tröpfchen überkocht. Schließlich dient das Trommelrückgewinnungswerkzeug zur gleichmäßigen und schnellen Rückgewinnung des Substratmaterials. Die Trommelrückgewinnungsanlage kann auch dazu beitragen, Fehler an der Resistfolie zu reduzieren, indem die Wiederholbarkeit des Substratrückgewinnens erhöht wird. Zusammenfassend ist CONVAC CRH 9S Photoresist Model ein leistungsfähiges und präzises Werkzeug zur Trocknung und Rückgewinnung von Photoresist in der Halbleiterindustrie. Diese Einrichtung besteht aus einer Transportvakuumkammer, einem Resistverdampfer, einer Kaskadenkammer, einem Aerosolnebelkonzentrator, einem Kondensator und einem Trommelrückgewinnungssystem. Alle diese Komponenten arbeiten in Kombination, um einen präzisen Fotolackfilm mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, Konsistenz und Wiederholbarkeit zu erzeugen.
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