Gebraucht CONVAC LBA 7 #9177469 zu verkaufen
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CONVAC LBA 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die speziell für fortschrittliche Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Reihe von anspruchsvollen Eigenschaften einschließlich Resistbeschichtung, Spinnen, Backen und Entwicklung von Photolackschichten in der integrierten Schaltung Herstellungsprozess verwendet. Das System verfügt auch über eine erweiterte dreiachsige Abtaststufe, die für die Photolithographie verwendet wird. Die Resist-Beschichtung von LBA 7 verfügt über eine einzigartige Feststofffraktionseinstellung, um eine sehr gleichmäßige Filmdicke zu erzielen. Der Spinnprozess ist für Drehzahlen von 100 bis 3500 U/min geeignet und bietet wählbare Beschleunigungs- und Verzögerungsraten, aerodynamische Spinratenstabilisierung und mittlere Zentrifugalkraftsensoren zur präzisen Steuerung. Die bedienerfreundliche Backeinheit hat einen einstellbaren Temperaturbereich von 50 bis 400 ° C bei einer Temperaturgleichförmigkeit von ± 0,5 ° C über dem Substrat. Für die Entwicklung hat das Gerät einen einstellbaren Entwicklertemperaturbereich von 10 bis 40 ° C für optimale Ergebnisse bei der Verarbeitung eines breiten Spektrums von Photoresists. Für die Scanstufe bietet CONVAC LBA 7 eine hervorragende Wiederholbarkeit von 0,5 µm und eine hochgenaue Beschleunigungs- und Geschwindigkeitsregelung. Dies ermöglicht hochgenaue und präzise platzierte Muster auf Substraten. Eine ultragenaue XYZ manuelle Ausrichtmaschine ist ebenfalls im Lieferumfang enthalten, die eine Feinpositionsgenauigkeit von ± 0,1 µm bietet. Das Werkzeug hat auch eine programmierbare Belichtungsfunktion, um in jede automatische Photolithographie-Ausrüstung zu integrieren. LBA 7 ist als hocheffiziente, benutzerfreundliche und kostengünstige Lösung für die Herstellung einer Vielzahl von Photolackschichten konzipiert, die für die Herstellung von integrierten Schaltungen benötigt werden. Es verfügt über erstklassige Resistbeschichtung, Spinnen, Backen und Entwicklungsleistung, die für eine optimale Leistung präzise automatisiert werden kann. Das benutzerfreundliche Design und die fortschrittliche Scanstufe machen es zur idealen Wahl für präzise Fotolithographie.
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