Gebraucht DELTA 7EK #9395525 zu verkaufen
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ID: 9395525
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2008
Coater, 6"-8"
(1) Dedicated puddle dispense arm for developer and N2
(1) Dedicated spray arm for developer and DI rinse
THERMO SCIENTIFIC A25 Chiller
PC
2008 vintage.
DELTA 7EK Photoresist Equipment ist eine kompakte und wirtschaftliche Lösung für die präzise Photoresist-Verarbeitung. Es bietet eine All-in-One-Plattform, die sowohl Kosteneinsparungen als auch Leistungsvorteile bietet. Das System verfügt über ein Vollspektrum-LED-Photometer, das eine präzise Wellenlängensteuerung bietet, und einen integrierten Terahertz-Quarzkristallmonitor für präzise Lichtbelichtungsmessung. Das Gerät unterstützt eine Vielzahl von Photoresst-Materialien, einschließlich photoresist getränktem VGA, statischem und dynamischem Resist und resistbeschichteten Goldsubstraten. Die integrierten chemischen Lösungen bieten hervorragende Auflösungs- und Leistungsvorteile und halten Ausfallzeiten auf ein Minimum. Die Maschine verfügt über einen fortschrittlichen Autoloader, der es ermöglicht, Programme schnell einzurichten, und das Werkzeug kann so eingerichtet werden, dass es in einem einzigen Schritt automatisch mehrere Belichtungen auslöst. Dieses schlanke Design reduziert erheblich die Zeit, die benötigt wird, um Reagenzien vorzubereiten und auszutauschen, und kann eine Vielzahl von Photolackmaterialien im selben Setup unterbringen. Die integrierte Flutausstoßfunktion ermöglicht die gleichzeitige Entsorgung von überschüssigem Photolackmaterial, wodurch die Zeit, die zum Auswechseln des Resists benötigt wird, weiter reduziert wird. In Bezug auf die Leistung ist 7EK in der Lage, Auflösung bis zu 0,5 µm, mit erweiterter Tiefenschärfe. Die Anlage wurde entwickelt, um eine einheitliche Resistbeschichtung bereitzustellen, die über eine Vielzahl von Prozessen und Substraten hinweg konsistent ist. Die Software ist sehr intuitiv und ermöglicht es dem Bediener, Prozessschritte bei Bedarf schnell einzurichten, auszuführen und anzupassen. Im Hinblick auf die Sicherheit ist DELTA 7EK Photoresist Model darauf ausgelegt, die Exposition des Bedieners gegenüber Gefahrstoffen zu minimieren. Ein Schutzgehäuse, komplett mit einer gefilterten Luftströmungsausrüstung, verringert die Gefahr, die mit der Exposition in der Luft verbunden ist. Ein Abgasgebläse reduziert ferner die Notwendigkeit, dass ein Bediener in den Gefahrenbereich gelangt, und sorgt für eine sichere Entsorgung der dabei verwendeten Chemikalien. 7EK Photoresist System ist eine ausgezeichnete Option für die präzise Photoresist-Verarbeitung. Sein intuitives Gerätedesign macht es einfach zu bedienen, während seine fortschrittlichen Funktionen eine Prozessautomatisierung und präzise Steuerung ermöglichen. Die Sicherheitsmerkmale der Maschine geben dem Bediener Sicherheit und ihre preiswerte Leistung stellt sicher, dass sie eine leistungsstarke Lösung für jede Produktionslinie ist.
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