Gebraucht DNS / DAINIPPON 200W #9227318 zu verkaufen

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ID: 9227318
Coater With ASML stepper interface module, 8".
DNS/DAINIPPON 200W ist eine ultraschnelle und zuverlässige SAMCO Photoresist-Ausrüstung, die zur Unterstützung von Massenproduktionsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System verfügt über einen automatischen berührungslosen Ausrichtungsprozess, der es ermöglicht, eine hochpräzise Ausrichtung zu bewältigen, den Durchsatz und die Ausbeute zu verbessern und gleichzeitig die Produktivität der Ausrüstung zu erhöhen. Der Photolack wird in einer Umgebung mit kontrollierter Atmosphäre aufgebracht, so dass er wirksam vor Luftverschmutzung geschützt ist. Das Gerät verfügt über eine einsträngige Belichtungsquelle-Technologie mit einer 200-Watt-Pulslaserdiode, die es ermöglicht, ultrahochauflösende Funktionen in einem Bruchteil der Zeit und mit einer viel höheren Genauigkeit als herkömmliche Photoresist-Systeme zu erreichen. Die Maschine ist sehr kompakt ausgelegt und benötigt wesentlich weniger Platz als konkurrenzfähige Systeme. Es gibt zwei einzigartige Konzepte, die das Tool beinhaltet: dynamische Belichtung und Luft-Schwimmer-Ausrichtung. Die dynamische Belichtungsfunktion ermöglicht es dem Asset, die Form des Photoresist-Musters zu erkennen und mit ihr übereinzustimmen, indem die Ausrichtung in Echtzeit feinjustiert wird, um Ergebnisse mit hoher Genauigkeit zu erzielen. Die Luft-Schwimmer-Ausrichtung reduziert die Verzerrung im Prozess und erhöht die Flexibilität, die beim Aufbringen des Photolacks in komplexen Strukturen eingebaut werden kann. Das Modell nutzt Quarz als Substrat, so dass es im Vergleich zu anderen Photoresist-Systemen kostengünstiger zuverlässig ist. Der Quarz wandelt den Laserpuls in Wärme um und erreicht so eine gleichmäßige Korrosion im Resist. Zusätzlich wird die Quarzoberfläche bei Belichtung mit Atmosphäre vollständig mit einer nativen Oxidschicht bedeckt, wodurch eine noch homogenere Resistschicht entsteht. Darüber hinaus bietet das Gerät eine verbesserte Effizienz und einen geringeren Zeitverbrauch dank des integrierten Datenhandhabungssystems mit Tools zur Speicherung von Designdaten und Belichtungsparametern. Dies reduziert die Produktionszeit pro Zyklus, da nur Belichtungsparameter und Testergebnisse eingegeben werden müssen, wodurch eine mühsame manuelle Dateneingabe entfällt. Dadurch wird die Produktqualität durch kürzere Belichtungszeit und genauere Messungen verbessert. Insgesamt ist DNS 200W eine zuverlässige Photolackeinheit, die im Vergleich zu anderen Systemen auf dem Markt eine überlegene Auflösung, einen hohen Durchsatz, eine verbesserte Produktivität und niedrige Kosten bietet. Seine dynamische Belichtung und Luftschwimmer-Ausrichtung machen es zu einer optimalen Wahl für jede Produktionsanwendung.
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