Gebraucht DNS / DAINIPPON 60A #9252552 zu verkaufen

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DNS / DAINIPPON 60A
Verkauft
ID: 9252552
(2) Developer system.
DNS/DAINIPPON 60A ist eine Photoresistausrüstung, die im Bereich der Halbleiterherstellung verwendet wird. Photoresist ist ein organischer Film, der gegen ultraviolettes Licht empfindlich ist und verwendet wird, um Mikroschaltungen und andere feine Merkmale auf Halbleiterstrukturen zu strukturieren. DNS 60A ist ein B-Harzsystem, das gegenüber anderen Photoresisttypen überlegene Ätzeigenschaften aufweist. Die Einheit besteht aus einem A-Typ flüssigen Photoresst, einem B-Typ pulverbeschichteten Photoresist und einem dunkelgrauen Entwickler. Der flüssige Photolack wird durch Schleuderbeschichtung aufgebracht und die pulverbeschichtete Form auf das Substrat aufgesprüht. Der dunkelgraue Entwickler dient dann zur selektiven Entfernung des Photolacks, der in der Folie Muster erzeugt, die die gewünschten Strukturen beschreiben. DAINIPPON 60A Maschine ist ideal für Anwendungen, die hochauflösende und vertikale Wandprofile in Mustern erfordern. Der A-Typ Flüssigkeits-Photowiderstand kann Merkmale mit Seitenverhältnissen von etwa 1:1 und feinen Linienbreiten von 0,2 Mikrometern erzeugen. Der B-Typ pulverbeschichtete Photoresist ist in der Lage, Wandprofile mit einem Seitenverhältnis von mehr als 10:1 und Linienbreiten von bis zu 0,05 µm herzustellen. Das Werkzeug weist auch einen guten Ätzwiderstand auf, so dass die einmal auf dem Substrat gemusterten Merkmale während des Ätzvorgangs intakt bleiben, was zu einer besseren Maßhaltigkeit führt. Zusätzlich ist die Anlage bei Temperaturen unterhalb des Siedepunktes strukturierbar, was ein wichtiger Faktor für die Halbleiterverarbeitung ist. Insgesamt ist 60A Fotolackmodell eine zuverlässige, kostengünstige Ausrüstung zur Herstellung detaillierter, hochauflösender Muster. Die hervorragenden Wandprofileigenschaften, der Ätzwiderstand und die Fähigkeit zur Strukturierung bei niedrigen Temperaturen machen das System zu einer idealen Wahl für Halbleiteranwendungen.
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