Gebraucht DNS / DAINIPPON 80A #293760409 zu verkaufen

ID: 293760409
Wafergröße: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8".
DNS/DAINIPPON 80A ist eine Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung von Chips für verschiedene integrierte Schaltungskomponenten verwendet wird. Es ist eine einzige, in sich geschlossene Plattform, die die flüssigkristalline Resistchemie, die Belichtungsoptik und die Behandlungsschritte nach der Belichtung bereitstellt, die für den Prozess der Herstellung hochleistungsfähiger integrierter Halbleiterschaltungen mit hoher Ausbeute entscheidend sind. Das System besteht aus einer Quecksilberbogenlampe, die eine hohe Neon-Argon-Linienleistung für die ein- oder vertikale Doppelbelichtung bietet. Die Vakuumoptik enthält einen Vakuumintegrator, eine verstellbare Brennwertkondensatorlinse mit variablem Abstandshalter, polarisiertes Glas und eine Irisblende. Die Optikbaugruppe enthält auch einen „Funken“ -Anzeiger, mit dem die Lichtbogenentladung durch die mattierte Kondensatorlinse beobachtet werden kann. Die Resistchemie verwendet eine wässrige Basislösung und verfügt über eine Backfähigkeit ohne Softbake. Dadurch kann ein dazwischenliegender Entwicklungsschritt eliminiert und damit der Durchsatz erhöht werden. Die Resistchemie weist auch aktive Korrekturen für die Auswirkungen von Temperatur, Feuchtigkeit und Lichteinwirkung auf. Das Gerät enthält auch eine Nachbelichtungsbehandlung oder ein PET-Modul, das die Leistung der Maschine optimieren soll. Dieses Modul enthält eine Infrarot-Energiequelle und ein Plasmafilter. Der Plasmafilter reduziert die Defektivität der belichteten Resistschichten, während die IR-Energiequelle den Aushärtungsprozess beschleunigt, was die Entwicklungszeit reduziert. Mit zusätzlichen PET-Komponenten kann das Werkzeug weiter an spezifische Anwendungsanforderungen angepasst werden. DNS 80A photoresist asset ist ein vollautomatisches Modell, das für den Einsatz in einer Lithographieanlage zur Herstellung von Hochleistungs- und Hochleistungs-Halbleiterschaltungen entwickelt wurde. Es wurde mit modernster Optik und Widerstandstechnologie entwickelt, um Durchsatz und Ertrag zu optimieren und gleichzeitig die Flexibilität zu bieten, die für einen erfolgreichen Prozess unerlässlich ist.
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