Gebraucht DNS / DAINIPPON 80A #293830591 zu verkaufen
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DNS/DAINIPPON 80A ist ein Photoresist-Gerät, das es Anwendern ermöglicht, Muster auf Wafern genau zu belichten. Dieses System zeichnet sich durch hohe Stabilität, Genauigkeit und zusätzliche Multifunktionsfunktionen aus. Die Einheit besteht aus einem Belichtungskopfmodul, einem optischen Maschinenmodul und einem mechanischen Komponentenmodul. Das Belichtungskopfmodul enthält zwei unabhängige symmetrische Ausrichtaugen. Jedes dieser Augen verfügt über eine genaue Auto-Alignment-Fähigkeit mit einer Auflösung von 2um und 0.1 um Wiederholbarkeit. Die Auflösung ist auch von 0,5um bis 3um einstellbar. Zusätzlich sind zwei Spiegel im Belichtungskopfmodul enthalten, um eine gleichmäßige Lichtverteilung über den gesamten Wafer zu ermöglichen. Das optische Werkzeugmodul ist für eine effiziente Beleuchtung der Masken auf den Wafer ausgelegt. Es nutzt eine Beleuchtungsoptik mit großem Durchmesser, die für den Einsatz in Kombination mit verschiedenen Linsen wie 25 mm und 50 mm ausgelegt ist. Dieses Modell erzeugt eine Hellfeldbeleuchtung mit homogener Lichtintensität auf dem Wafer. Darüber hinaus verfügt das optische Gerätemodul über einen lokalen Galvanometer-Scanner und eine Drehstufe zur Abtastung großer Flächen des Wafers auf einmal. Das mechanische Bauteilmodul arbeitet mit dem optischen Systemmodul zusammen, um den Wafer genau zu positionieren. Es verfügt über eine Positionierführung für die genaue Positionierung des Wafers und ein Wafer-Spannfutter, um sicherzustellen, dass es stabil ist. Zusätzlich enthält das mechanische Bauteilmodul eine Höhenverstellfunktion, um den genauen Abstand zwischen dem Ausrichtkopf und dem Wafer zu steuern. DNS 80A Photoresist-Einheit bietet einen zuverlässigen und genauen Ansatz zur Strukturierung von Wafern. Diese Maschine erfüllt aufgrund ihrer hohen Stabilität, Genauigkeit und zusätzlichen Multifunktionsfunktionen die Anforderungen vieler unterschiedlicher Anwendungsarten. Mit seinen erweiterten Funktionen und Funktionen eignet sich das Tool ideal, um eine Vielzahl von Wafern schnell und präzise zu mustern.
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