Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235507 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV photowidersetzen Sich Ausrüstung ist ein völlig automatisiertes, schnelllaufendes Oblatenverarbeitungssystem. Die Einheit besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Wafertransport, einer Spin-Coat-Einheit, einer Belichtungseinheit und einer Entwicklungseinheit. Der Wafertransport bewegt das Substrat vom Waferlader zur Spin-Coat-Einheit. Die Spin-Coat-Einheit ist eine hochpräzise Vorrichtung zur gleichmäßigen Verteilung eines Resistmaterials über das Substrat. Die Belichtungseinheit enthält eine UV-Lichtquelle, mit der strukturierte Bereiche des resistbeschichteten Wafers selektiv belichtet werden. Es ist auch mit einer Drehstufe ausgestattet, um die Belichtung dieser strukturierten Bereiche zu erleichtern. Die Entwicklungseinheit ist dazu ausgelegt, belichtete und unbelichtete Teile des Resists zu entfernen. DNS SC-80BW-AV Photoresist Machine ist ein hochpräzises Werkzeug zur Fehlerreduzierung und Durchsatzsteigerung. Die Anlage ist mit einem direkten Bilderfassungs- und Einstellmodell (DISA) ausgestattet, um eine hochgenaue Belichtung des gemusterten Bereichs des Substrats zu gewährleisten. Die direkte Bilderfassungs- und Justiereinrichtung überwacht die Bewegung des Wafers und stellt dann die Belichtung der UV-Lichtquelle entsprechend ein. Dieses System hilft, Defekte im Zusammenhang mit einer ungleichmäßigen Beschichtung des Resistes zu reduzieren, wodurch der Durchsatz und die Produktqualität erhöht werden. Das Gerät ist auch mit einer automatischen Resist-Ersatzmaschine (ARRS) ausgestattet, um die höchste Leistung des Resist-Materials zu gewährleisten. Das ARRS überwacht kontinuierlich die Substratbelichtung, Temperatur und Feuchtigkeit. Es passt dann automatisch die Konzentration und Zusammensetzung des Resistmaterials an, um ein Höchstmaß an Leistung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Tool mit einem dynamischen Wärmebildmaterial (DTI) ausgestattet. Dieses Modell soll die thermische Aktivität auf dem beschichteten Substrat erfassen und messen und anschließend die Temperatur der Spin-Coat-Einheit entsprechend einstellen. Dadurch wird die Gefahr einer Fehlerbildung durch ungleichmäßige Erwärmung oder Kühlung des Substrats reduziert. Insgesamt ist DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment ein leistungsstarkes automatisiertes Waferbearbeitungssystem, das entwickelt wurde, um überlegene Produktqualität bei maximalem Durchsatz zu sichern. Die Kombination aus direkter Bilderfassung und -einstellung, automatischem Resist-Austausch und dynamischen Wärmebildsystemen hilft, Defekte zu reduzieren, den Durchsatz zu optimieren und die Effektivität des Resist-Materials zu maximieren.