Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248933 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV ist eine hochmoderne Photoresist-Anlage zur Herstellung integrierter Schaltungen und Mikroelektronik. Das System basiert auf einem direkten schreiben Elektronbalkensteindruckverfahrenwerkzeug. Es ist in der Lage, genau auf photoresistbeschichtete Wafer mit der Submikron-Auflösung aus dem Elektronenstrahl zu schreiben. Das Gerät enthält auch Software für Design, Musterlayout und Steuerung. Der Elektronenstrahl von DNS SCW-60A-AV ermöglicht sowohl kontinuierliche Schreib- als auch Batch-Modus-Operationen. Beim kontinuierlichen Schreiben wird der Elektronenstrahl verwendet, um den Photolack direkt mit konstanter Geschwindigkeit zu belichten, um ein kontinuierliches Bahnmuster zu erzeugen. Im Batch-Modus kann ein Satz eindeutiger Muster erzeugt werden, wobei die Elektronenstrahlablenkung das Muster auf dem Wafer erzeugt. Die Maschine ist mit einem integrierten optischen Werkzeug ausgestattet, das aus einer Objektivlinse, einer Elektronenquelle und einer speziellen elektrooptischen Schaltung besteht. Diese Optik wird verwendet, um den Elektronenstrahl zu fokussieren, wodurch verschiedene Auflösungen verwendet werden können. Das Optikmodell passt den Elektronenstrahl automatisch an, um einen konstanten Fokus über den belichteten Bereich zu erhalten. DAINIPPON SCW 60A AV ist in der Lage, Muster mit einer minimalen Linienbreite von weniger als 0,8 Mikrometer und einer minimalen Merkmalsgröße von 0,4 Mikrometern zu schreiben. Darüber hinaus kann der Elektronenstrahl genau programmiert werden, um Linienmuster mit einer bestimmten Tonhöhe zu erzeugen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Photolack einer präzisen elektromagnetischen Energie ausgesetzt ist, was zu Mustern mit hoher Treue führt. DNS SC-W60A-AV beinhaltet auch eine Steuerungsausrüstung zur Optimierung der Leistung bei der Produktion. Seine Software enthält Funktionen wie Mustergröße Verifizierung und Auto-Nivellierung. Dadurch wird sichergestellt, dass genaue, wiederholbare Muster erzeugt werden. Das System enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Seine Gasgehäuse sind mit Druckaufnehmern, Magnetventilen und Notdrucksicherheitsventilen ausgestattet, um sicherzustellen, dass potenzielle Gefahren im Zusammenhang mit der Verwendung von Elektronenstrahllithographie auf ein Minimum beschränkt werden. Insgesamt ist SC-W60A-AV eine leistungsfähige, zuverlässige und sichere Photoresist-Einheit zur Erstellung komplexer integrierter Schaltungs- und Mikroelektronik-Designs. Die direkte Schreibelektronenstrahl-Lithographie, die integrierte Optikmaschine und die Steuerungsfunktionen sorgen dafür, dass präzise, genaue, wiederholbare und sichere Muster mit maximaler Effizienz hergestellt werden können.