Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W60A-AVQ #9148298 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SC-W60A-AVQ
ID: 9148298
Coater.
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVQ ist eine hochmoderne Photolackausrüstung für die Entwicklung hochpräziser Mikrofabrikation in der Halbleiterindustrie. Das System ist in der Lage, Photolackmaterial auf die Oberfläche eines Wafers mit einem einheitlichen, präzisen und wiederholbaren Beschichtungsmuster aufzubringen. Es kann auch eine einheitliche und präzise Linie entlang der konturierten Kanten einer Fotomaske erzeugen. Das Gerät verfügt über eine automatisierte mechanische Ausrichtmaschine, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Photoresist-Anwendung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Bildlaufwerk, eingebautes Bildverarbeitungswerkzeug, eine Drehstufe, eine lineare Skala und verschiedene Encodersysteme. Die Anlage ist auch mit einem modernen programmierbaren Logikcontroller (SPS) für Fernbedienungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet. Das Modell ist einfach zu bedienen, mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche und einer kompakten Stellfläche. Darüber hinaus umfasst es erweiterte Supportfunktionen wie wiederholbare prozessgesteuerte Optimierungsfunktionen, ein Rezept-Management-Equipment und ein integriertes Datenverarbeitungs- und Speichersystem. Das Gerät ist auch in der Lage, eine breite Palette von Photoresists mit unterschiedlichen Viskositäten, Prozesstemperaturen und Eigenschaften aufzubringen. Es ist mit einer Doppelpumpenmaschine ausgestattet, die es ermöglicht, die genauen Mengen an Photolackmaterial zu liefern, die für die Herstellung der gewünschten Geometrie erforderlich sind. Das Doppelpumpenwerkzeug bietet auch einen Puffer gegen Materialverschmutzung durch Überpumpung. DNS SC-W60A-AVQ ist auch mit einer Reihe von erweiterten Funktionen für Genauigkeit und Präzision ausgestattet. Dazu gehören ein fortschrittlicher Substratsensor zur Messung von Verformungen in der Substratoberfläche und eine fortgeschrittene horizontale Substratstufe, die eine gleichzeitige vertikale und laterale Bewegung ermöglicht. Der Vermögenswert ist auch in der Lage, große Mengen an Photolackmaterial zu verarbeiten. Sie ist darauf ausgelegt, bis zu sechs Wafer gleichzeitig bearbeiten zu können. Das Modell verfügt auch über eine fortschrittliche rezirkulierende Filtrationsausrüstung, die die Qualität des zu verarbeitenden Fotolackmaterials sicherstellt. Schließlich ist DAINIPPON SC-W60A-AVQ für die Herstellung von hochgenauen und wiederholbaren Photoresist-Geräten konzipiert. Es ist für die anspruchsvollsten Mikrofabrikations- und Halbleiteranwendungen konzipiert und bietet höchste Präzision und Wiederholbarkeit.
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