Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9227384 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG
ID: 9227384
Wafergröße: 8"
Spin on glass (SOG) coaters, 8".
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AG Photoresist-Ausrüstung ist eine Art Photolithographiesystem, das für die Halbleiterherstellung und andere Arten der mikroelektronischen Herstellung verwendet wird. Diese Einheit ist ein programmierbarer, langsamer Kontaktlaserscanner mit Beugungsgitteroptik. Es hat eine Scanfläche von 80 mm x 80 mm und ist in der Lage, rechteckige und quadratische Photoresist-Muster im Mikron bis Submikron-Bereich zu belichten. Diese Maschine wird häufig auf technischen Substraten wie Silizium-Wafern verwendet. DNS SCW-80A-AG Tool verwendet einen Kontaktlaser-Scan-Kopf, der ein Beugungsgitter als Teil seiner Scan-Optik verwendet. Das Beugungsgitter dient dazu, den Laserstrahl in mehrere gebeugte Strahlen zu zerlegen und dann auf die Waferoberfläche zu lenken. Ein modulierter Lichtstrahl wird gebildet, wenn der Ausgang des Lasers zu einer Anzahl von „Pixeln“ oder kleinen Parallelogrammen gleicher Intensität verändert wird. Mit diesem modulierten Lichtstrahl wird dann das gewünschte Muster auf dem photoresistbeschichteten Wafer belichtet. DNS-Systeme sind so konzipiert, dass sie eine feine Musterdefinition mit genauen und wiederholbaren Mustern, hohen Durchsatzgeschwindigkeiten für hohe Waferzählungen während der Chargenverarbeitung und ausgezeichneter Auflösung ermöglichen. Dieser Vermögenswert ist in der Lage, ein Muster auf Submikron gleichmäßigen Merkmalen mit hoher Dichte von 10 µm oder weniger auszusetzen. Mit dem Modell DAINIPPON SC W80A AG können vielfältige Anwendungen wie DRAM, DRAM-Speicher und LSI-Schaltungsmuster (Large Scale Integration) gedruckt werden. Es ist wichtig zu beachten, dass die Auflösungsfähigkeit dieser Ausrüstung von den Eigenschaften des verwendeten Fotoresistmaterials, der Raffinesse des zu belichtenden Gerätemusters und der optischen Auflösungsfähigkeit des Scanners abhängt. Dieses System ist kompatibel mit MOD-X, Vision Plus und Autoline Wafer Wahrnehmungssystemen sowie anderen gängigen CAD und Photomasken Systemen. Die Einheit zeigt auch benutzerfreundliche Optionen wie Sensorbildschirmmonitorsteuerungen und Auto-Alignment Algorithm (AAA) für Präzisionsanordnungsausgleichanpassungen. DNS SC-W80A-AG Maschine bietet ein zuverlässiges Mittel, um hochpräzise Muster für komplexe Geräte zu erstellen. Aufgrund seiner hochauflösenden Scanfunktionen, seines hervorragenden Durchsatzes und seiner benutzerfreundlichen Funktionen ist dieses Tool eine wirtschaftliche und effiziente Lösung für die Herstellung von Halbleiter- und Mikroelektronikbauelementen im Fertigungsmaßstab.
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