Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV #9133487 zu verkaufen

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DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV
Verkauft
ID: 9133487
Wafergröße: 8"
Spin coater, 8".
DNS Screen DNS/DAINIPPON SC-W80A-AV ist eine hochentwickelte Photolackverarbeitungsanlage, die für die präzise und effiziente Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Das System besteht aus einer Vielzahl von Komponenten, die zusammenarbeiten, um eine hochgenaue und effiziente Einheit für Lithographie-Prozesse zu schaffen. Hauptbestandteil des DAINIPPON Screen DNS SC-W80A-AV ist der Photoresist-Prozessor, der Photoresists wie Antikörper, Polymere und Polyimide genau auf die Oberfläche eines Halbleiterbauelements in einer gleichmäßigen Schicht auftragen soll. Der Photoresist-Prozessor ist in der Lage, Photoresist sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung zu sprühen, während ein feinkörniges Waschwerkzeug verwendet wird, um sicherzustellen, dass der Photoresist mit einer gleichmäßigen Dicke aufgebracht wird. Die Maschine enthält auch ein Photolithographie-Modul, das verwendet wird, um die Merkmale des Geräts abzubilden. Das Werkzeug verwendet eine Kombination aus Lichtbelichtung und einer Photolackschablone, um ein präzises und genaues Muster des Halbleiterbauelements zu erzeugen. Das Photolithographiemodul ist in der Lage, unterschiedliche Belichtungszeiten, Belichtungsleistung und Photoresistdicke zu nutzen, um ein hochauflösendes, detailliertes Muster zu erzeugen. Neben dem Photolithographiemodul umfasst das Asset auch eine Reihe von Messmodulen. Mit diesen Modulen wird die Genauigkeit des vom Modell erzeugten Musters sichergestellt. Die Module messen die Schichtdicke, Dichte und Brechkraft des Photolacks, die dann verwendet werden, um die Ausrüstung für die genauesten Ergebnisse genau zu kalibrieren. Der letzte Prozess des Systems ist die Entwicklung des Geräts. Das Gerät kann eine Vielzahl von Photoresisttypen verarbeiten, wie z.B. Alkali- oder Säuregehalt, und kann auch für die Trocken- und Nassentwicklung der Vorrichtung verwendet werden. Die Maschine verwendet ein Hochgeschwindigkeits-Spin-Tool, das Photolacke mit minimaler Beschädigung des darunter liegenden Substrats entfernen kann. DNS/DAINIPPON Screen DAINIPPON SCW-80A-AV ist ein hochentwickeltes Werkzeug, das die präziseste und effizienteste Produktion von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Das Asset nutzt eine Vielzahl von Komponenten, die zusammenarbeiten, um ein genaues und effizientes Lithographiemodell bereitzustellen. Das Gerät ist in der Lage, unterschiedliche Belichtungsstufen, Photoresistdicke und Messmodule zu verwenden, um die genauesten Muster zu gewährleisten. Das System ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Photoresist-Typen zu verarbeiten, sowie die trockene und nasse Entwicklung des Geräts bereitzustellen.
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