Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP #9300629 zu verkaufen
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ID: 9300629
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
SOG Curing furnace, 8"
Cassette to cassette
Buffer indexer interface between SOG Track and furnace
Vertical / Horizontal laminar flow loader station
(3) Zone vertical tube furnaces
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP ist eine Photoresist-Anlage, die für Serienprozesse in der Mikroelektronik entwickelt wurde. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug, das die neueste Photoresistenztechnologie mit automatisierten Prozessen kombiniert, die Fähigkeiten ermöglichen, die höchstmöglichen Erträge zu erzielen und gleichzeitig die Prozesskontrolle aufrechtzuerhalten. Das System besteht aus zwei Teilen, der Vorbehandlungseinheit und der Waferbearbeitungseinheit. Die Vorbehandlungseinheit ist dazu ausgelegt, vor der Verarbeitung einen Film aus Photolackmaterial auf den Wafer aufzulegen. Diese Folie trägt dazu bei, eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten, die für zuverlässige Ausbeuten erforderlich ist. Die Waferbearbeitungseinheit ist so konzipiert, dass sie mittels Photolithographie Muster auf der Waferoberfläche definiert. Dies wird durch weitere Behandlung des Photolacks und Reinigung in einem Photolackstripper erreicht. DNS SCW-80A-AVFGLP verfügt über einen hochpräzisen Schrittmotor, um die Steigungen auf der Oberfläche eines Wafers genau auszurichten. Dadurch wird ein genaues und gleichmäßiges Muster auf dem Wafer gewährleistet. Weitere Merkmale sind Laserausrichter für präzisere Bewegungen und eine Vielzahl von optischen und elektronischen Sensoren und Prozessen, um eine hohe Ausbeute zu gewährleisten. Das Gerät verfügt auch über einen automatischen Sortierer, um bearbeitete Wafer schnell zu sortieren. Die Leistung von DAINIPPON SC-W80A-AVFG (LP) wird aufgrund der Automatisierung der Maschine als präzise und reproduzierbar gemeldet. Die Software steuert die Parameter wie Temperaturen, Belichtungszeiten, Prozessmaterialien und Prozessschritte. Dies hilft, einheitliche Ergebnisse Optionszeit zu liefern. Das Werkzeug ist auch für einen hohen Durchsatz ausgelegt, wobei der Schrittmotor bis zu 6 Wafer pro Sekunde verarbeiten kann. Zusammenfassend ist DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVFGLP ein High-End-Photoresist-Asset für die Produktion mit hohem Durchsatz in der Mikroelektronikindustrie. Die Kombination aus Laserausrichtern, Automatisierung und Präzisionsbewegungs- und Prozesssteuerung ermöglicht es, präzise, reproduzierbare Ergebnisse mit hohen Ausbeuten zu liefern.
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