Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #188553 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ ist eine Photoresist-Ausrüstung, bestehend aus einem modularen Bearbeitungswerkzeug, das mehrere Arten von Photolithographie-Anwendungen unterstützen kann, einschließlich Einzelmasken-Bildgebung und Dual-Mask-Bildgebung (DM). Das System wurde speziell für die Anforderungen fortschrittlicher Halbleiterlithographieverfahren entwickelt und bietet eine hochpräzise, reproduzierbare bildgebende Lösung, die Merkmale von ∅40 nm oder weniger herstellen kann. Das Gerät ist mit einer hochmodernen Laserprojektionslinienbreite (LPL) ausgestattet, die in der Lage ist, Submikron-Registrierung und Bildgebungsgenauigkeit zu erzeugen. Es ist auch in der Lage, präzise Ausrichtmarken mit zuverlässiger Überlagerungsgenauigkeit innerhalb von 3 nm bei seiner besten zu produzieren. Hauptbestandteil der Maschine ist das Projektionsobjektiv, das ein hochauflösendes Bild mit einer effektiven Feldgröße von bis zu 335 mm auf den Wafer projizieren soll. Das Linsenwerkzeug verwendet eine hohe numerische Apertur (NA) von 0,82, die eine hohe Fokustiefe und hohe Auflösung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine motorisch angetriebene Stufe, die eine präzise Steuerung der Ausrichtungs- und Bildposition auf dem Wafer ermöglicht. Die Bühne verwendet ein Paar präziser linearer Motorachsen, die eine vollautomatische Ausrichtung des Bildes und des Wafers ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Modell auch über eine temperaturgesteuerte Umgebung, um sicherzustellen, dass der Photolack richtig mit der gewünschten Dosis belichtet wird. DNS SC-W80A-AVQ enthält auch eine ausgeklügelte Werkzeugoberfläche, die eine breite Palette von benutzerfreundlichen Funktionen bietet. Es umfasst die Möglichkeit, auf vorprogrammierte Rezepte zuzugreifen und den Prozessstatus zu überwachen, sowie automatische Prozessoptimierung und Parametereinstellungen, die sich automatisch an veränderte Resist- und Substrattypen anpassen können. Es enthält auch einzigartige Funktionen wie Kurvenanpassung, die es dem Gerät ermöglicht, sich an Änderungen der Resisteigenschaften anzupassen, und eine ultrahochgenaue Belichtungssteuerungsfähigkeit, die in der Lage ist, präzise Dosisanpassungen mit fortschrittlichen prädiktiven Belichtungstechniken vorzunehmen. Insgesamt ist DAINIPPON SCW-80A-AVQ ein fortschrittliches Photolacksystem, das eine zuverlässige und präzise bildgebende Lösung für fortschrittliche Halbleiterlithographieverfahren bietet. Es ist mit einer hochpräzisen Projektionslinse, einer motorgetriebenen Bühne, einer temperaturgesteuerten Umgebung, einer robusten Werkzeugschnittstelle und mehreren fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die die Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit verbessern können.