Gebraucht DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9373064 zu verkaufen

ID: 9373064
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Polyimide coater, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQ ist eine automatisierte Photolackverarbeitungsanlage, die in der Lage ist, große Wafer in Serienanwendungen zu handhaben. Es ist für die Einzel- und Mehrfachmaskenschichtverarbeitung von Wafern mit einer Größe von bis zu 8 Zoll konzipiert und ist in der Lage, eine Photomasken-Registrierungsgenauigkeit von ≤5µm zu erreichen. Darüber hinaus verfügt das System über eine Hochgeschwindigkeits-, Hochgenauigkeits-, mehrachsige Inspektions- und Mustererkennungseinheit. DNS SC-W80A-AVQ bietet eine breite Palette von Funktionen, um eine hochwertige Ausgabe zu gewährleisten. Es ist mit einer automatischen Wafer-Ausrichtmaschine ausgestattet, die ± 0,5 µm Fehlausrichtung zwischen Photomaske und Substrat während der Verarbeitung handhaben kann und in der Lage ist, falsch ausgerichtete Substrate zu identifizieren und zurückzuweisen. Das Tool verfügt außerdem über ein leistungsfähiges Kegelätzgerät, das speziell für Strukturen mit hohem Seitenverhältnis und eingebettete Linien/Löcher entwickelt wurde. Darüber hinaus ist das Modell für kostengünstige und produktive Operationen konzipiert. Es wird mit einer, Hochleistungshogenauigkeitsübertragungsausrüstung ausgestattet, die dazu fähig ist, Zykluszeit von ≈8 Sekunden mit einem Durchfluss von bis zu 200 Oblate/Stunde zu erreichen. Das System verfügt auch über eine mehrschichtige Kassetteneinheit, die in der Lage ist, bis zu 20 Photomasken zu speichern, so dass der Benutzer mehrere Masken nacheinander ausführen kann. DAINIPPON SCW-80A-AVQ ist mit einer Reihe von Überwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Diese Merkmale umfassen eine Echtzeitüberwachung der Substratausrichtungs- und Belichtungsbedingungen sowie eine eigene Steuereinheit, die eine einfache Maschinenbedienung und -überwachung ermöglicht. Das Tool verfügt auch über ein ausgeklügeltes Datenmanagement-Asset, mit dem der Benutzer Prozessmerkmale und -parameter speichern und überprüfen und schnell neue einzelne oder wiederholte Prozessrezepte eingeben kann. Um eine hochwertige Ausgabe zu gewährleisten, verfügt DNS SCW-80A-AVQ über ein integriertes Fehlererkennungsmodell. Diese Ausrüstung ist in der Lage, Defekte wie Partikel, Rillen, Peeling und Unterentwicklung zu erkennen. Es ist auch mit einem automatisierten PWB-Qualitätskontrollsystem ausgestattet, das aberwitzige Signale wie Biegen, Ausdünnen und Abrieb auf der PWB erkennen und analysieren kann. Insgesamt ist SC-W80A-AVQ Photoresist-Verarbeitungseinheit eine hochentwickelte Hochleistungsmaschine, die Serienanwendungen erleichtert. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, darunter Hochgeschwindigkeits-, Hochgenauigkeitsübertragungs- und Mustererkennungssysteme sowie anspruchsvolle Datenmanagement- und Überwachungssysteme. Als solches ist DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVQ eine ideale Wahl für jede Labor- oder Produktionsumgebung, die hohe Photomasken-Registrierungsgenauigkeit und Fehlerkontrolle erfordert.
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