Gebraucht DNS / DAINIPPON / SCREEN SK-W80A #293642826 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON / SCREEN SK-W80A
ID: 293642826
Wafergröße: 8"
Coater / Developer system, 8".
DNS/DAINIPPON/SCREEN SK-W80A ist eine Photoresist-Ausrüstung, die fortschrittliche Funktionen nutzt, um hochleistungsfähige, präzise Fotolithographie-Musterung von Dünnschichtsubstraten bereitzustellen. Dieses Photoresist-System verwendet eine Kombination aus kontaktlosem Spin-Entwickler und einer breiteren Palette von Standardprozesschemikalien für maximale Haltbarkeit und Wiederholbarkeit. Die Einheit arbeitet durch Aufbringen einer Dünnfilm-Spin-on-Resist-Schicht, die einer Lichtquelle, wie einer Laser- oder Scanning-optischen Maschine, mit additiven oder subtraktiven Techniken für die Mikrolithographie ausgesetzt ist. Anschließend wird die Resistschicht durch eine Reihe von chemischen Bädern verarbeitet, bevor sie mit einem sekundären Photoresistmaterial beschichtet wird. Dieses sekundäre Resistmaterial wird ultraviolettem (UV) Licht ausgesetzt und dann in ein Entwicklerbad gebracht, um eine Schicht aus positiven oder negativen Mustern auf der Oberfläche des Substrats zu bilden. Die Auflösung und Genauigkeit des Endmusters hängt vom Muster der Lichtquelle und den Parametern ab, die das Werkzeug während des Säureätz- und Ausbackvorgangs beibehält. DNS SK-W80A ist in der Lage, eine Vielzahl von Mikroskala-Mustern für eine breite Palette von Dünnschichtmaterialien, einschließlich Si3N4 und SiO2, zu reproduzieren. Diese Anlage ist mit einer Reihe von spezialisierten Funktionen ausgestattet, um eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Musterprozess zu gewährleisten. Erstens kommt es mit einem Tacho, der die Drehzahl des Spinners überwacht und die Drehzeit und den Druck kontrolliert, um eine gleichmäßige Strukturierung zu gewährleisten. Darüber hinaus trägt das Design der Energiedispersionsdüse dazu bei, eine gleichmäßige Spin-Material-Abdeckung zu gewährleisten und gleichzeitig Resistmigration durch Lösungsmittelverdampfung zu mildern. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine erweiterte Bildverarbeitungssoftware, die präzise und wiederholbare Prozesse mit minimaler Bedienereingabe ermöglicht. Schließlich ist die W80A auch in der Lage, die Auswirkungen von Merkmalsgröße und relativer Position zu simulieren, was eine einfache Einstellung und Feinabstimmung der lithographischen Parameter ermöglicht. Dank seiner fortschrittlichen Fähigkeiten ist SCREEN SK-W80A die ideale Lösung für die Herstellung hochpräziser Dünnschicht-Mikrostrukturen. Diese Photoresist-Ausrüstung verwendet überlegene Technologie und wiederholbare Prozesssteuerungen, um ein konsistentes erstklassiges Ergebnis zu garantieren und eine wesentliche Komponente für die Herstellung einer Vielzahl von Geräten zu bieten. Mit integrierter Software, einstellbaren Parametern und Feinabstimmung ist das W80A System die beste Wahl für die präzise Mikrolithographie-Verarbeitung.
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