Gebraucht DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #293760415 zu verkaufen

ID: 293760415
Wafergröße: 6"
(3) Developer system, 6" Missing parts: (4) PCB (2) Rotary motors Driver.
DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP ist eine Photoresist-Belichtungsanlage, die für hohe Produktivität und Wiederholbarkeit in Nass- und Trockenätzprozessen ausgelegt ist. Es ist eine flexible, hochpräzise Maschine mit verstellbaren Luftvorhängen und Quarz-Halogen-Belichtungslampe zur optimierten Belichtungsgleichförmigkeit. Das System verfügt über eine große Schärfentiefe, die es ermöglicht, Kanteneffekte zu minimieren und sicherzustellen, dass die Belichtung auch über große Substrate erfolgt. Die integrierte Belichtungseinheit verfügt über einen hochkarätigen Vakuum-Belichtungskopf, der für eine langfristige Wiederholbarkeit konzipiert wurde und die Anforderungen der Branche an hochpräzise Prozesse erfüllt. Der Belichtungskopf bietet eine einstellbare Belichtung bei bis zu 5 Sigma Off-Formgenauigkeit und einer maximalen Auflösung von 20 Mikrometern. Belichtungszeit ist programmierbar und einstellbare Belichtungstiefe ist anpassbar. Die Maschine umfasst auch ein Substratheizwerkzeug, das es dem Benutzer ermöglicht, die Bearbeitungszeiten durch Vorwärmen des Substrats weiter zu erhöhen. Die integrierte Maskenstufe ermöglicht Online-Austauschgeräte und Belichtungsverfahren sowie hohe Empfindlichkeit und präzise Belichtungserfassungsgenauigkeit. Das Asset verfügt auch über eine Auto-Center-Funktion, die Muster und Masken in der Z-Achse genau ausrichtet, wodurch die Mustergenauigkeit minimal verlorengeht. Sein Hochvakuum-Modell sorgt für die optimale Prozessumgebung und eine staubfreie Umgebung eliminiert das Risiko von Staubverunreinigungen. Das Gerät ist auch mit fortschrittlichen Software- und Netzwerksteuerungsfunktionen ausgestattet, so dass es in Netzwerke integriert und ferngesteuert werden kann. Die integrierte Benutzeroberfläche und das interaktive Sitzungsfenster ermöglichen es den Betreibern, alle Aspekte des Systems über eine einzige Schnittstelle zu überwachen und zu steuern. Darüber hinaus hilft die mitgelieferte Datenverarbeitungssoftware Anwendern, Belichtungsergebnisse zu analysieren und Ausgänge anhand von Messergebnissen zu treiben. Um die Sicherheit zu gewährleisten, ist das Gerät mit Sicherheitswächtern und laserbasierten Positionssensoren ausgestattet. Es enthält auch eine Autolock-Funktion, die Belichtungsverfahren blockiert und die Entfernung des Belichtungskopfes innerhalb eines Sicherheitsumschlags verbietet. Die Maschine ist auch nach geltenden Sicherheitsstandards zertifiziert, einschließlich UL, IEC, JIS und CE-Standards. Insgesamt ist DNS SD-W60A-AVP ein hochentwickeltes Photoresist-Belichtungswerkzeug, ideal für hochpräzise, hochproduktive Ätzprozesse. Es bietet flexible, anpassbare Belichtungsparameter und integrierte Maskenstaging, die eine überlegene Mustergenauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleisten. Die Benutzeroberfläche, erweiterte Steuerungs- und Sicherheitsfunktionen und integrierte Software verbessern die Gesamtleistung des Asset weiter.
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