Gebraucht DNS / DAINIPPON SD-W60A-AVP #9235505 zu verkaufen
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DNS/DAINIPPON SD-W60A-AVP ist eine Photolackausrüstung, die für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist ein automatisiertes Entwicklungssystem, das die Verarbeitung schneller und einfacher macht. Die Einheit ist in der Lage, volle Rate Batch-Prozess-Operationen und ist in der Lage, sowohl Standard-und benutzerdefinierte Zyklen. Es besteht aus zwei Hauptteilen: einer Hauptmaschine und einem Waferhalter. Das Hauptwerkzeug umfasst eine Photoresist-Vorbehandlungskammer, eine Entwicklungskammer, eine Spülkammer, eine Asset-Schnittstelle und ein Bedienfeld, einen PC-Controller und optionale Upgrades wie ein Trocknungsmodell, automatisierte Chemiemanagementgeräte und Designsoftware. Die Kammer ist mit Photolacksprühgeräten und Pumpen ausgestattet, die zum Sprühen und gleichmäßigen Verteilen von Photolackflüssigkeit verwendet werden. In der Entwicklungskammer erfolgt die chemische Verarbeitung des Photolacks. Die Spülkammer dient zur Reduktion von Restphotoresist und anderen unerwünschten Substanzen. Die Systemschnittstelle und das Bedienfeld bieten dem Benutzer die Möglichkeit, Prozessparameter anzupassen und alle Prozesse in den Automatikmodus zu versetzen. Der PC-Controller ist der Computer, der mit den anderen Komponenten zusammenarbeitet, um Prozesssteuerung, Planung und Analyse bereitzustellen. Der Waferhalter ist das Bauteil, das es dem Benutzer ermöglicht, die Photolackflüssigkeit exakt auf das gewünschte Muster über dem Wafer auszurichten. Es besteht aus einem Präzisionshalterkopf und einer Waferbühne. Der Halterkopf ist mit Sensoren und Aktoren ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglichen, die Waferausrichtung für mehrere Prozessläufe schnell und genau einzustellen. Zusätzlich ist die Waferstufe mit ebenen Nivelliergeräten und Temperaturregelgeräten ausgestattet. DNS SD-W60A-AVP Photoresist-Einheit ist ideal für Anwender, die einen zuverlässigen, automatisierten Prozess benötigen und die Bequemlichkeit der Steuerung der Maschine vom PC aus wünschen. Die hohe Präzision des Waferhalters und die einstellbaren Parameter machen ihn zu einer ausgezeichneten Wahl für hohe Ertragsergebnisse bei jeder Charge.
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