Gebraucht DNS / DAINIPPON SD-W80A-A #9274821 zu verkaufen

ID: 9274821
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Coater system, 8" 1999 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-A ist eine Photoresist-Anlage für Lithographieverfahren. Es ist hochpräzise konzipiert und in der Lage, 3D-Komponenten mit hoher Auflösung zu erstellen. Das System ist mit vielen Resisttypen kompatibel und verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Es verfügt über eine hochauflösende optische Einheit bestehend aus einer Linsengruppe und einer dioptrischen Maschine, die eine präzise Targetierung und Abbildung des Photolacks auf das Substrat ermöglicht. Das Werkzeug verwendet auch ein Mikroventil, um den Fluss des Fotolacks zu regulieren, während eine digitale Servosteuerung die genaue Verschiebung des Substrats während der Belichtung gewährleistet. Zusätzlich wird die Position des Substrats sowie die Bewegung der Linsengruppe durch eine Zeilen-Scan-CCD-Kamera und eine X-Y-Stufe überwacht und gesteuert. DNS- SD-W80A-A können eine Vielzahl von Photoresist-Versorgungssystemen wie Kartusche, DIAS und CDM-Technologien verwenden. Es verfügt auch über ein einzigartiges „Close-Loop“ -Modell zur Steuerung der Substrattemperatur und der Menge des Fotolacks. Dies hilft bei der Kontrolle der Belichtungsdosis während des gesamten Photolackprozesses und sorgt für konsistente und genaue Ergebnisse. Die Photolackeinrichtung verfügt über einen integrierten Laserbelichtungsmechanismus. Dies ermöglicht die Herstellung präziser Musterstrukturen wie Linien und Löcher und hilft auch bei der Optimierung der Gesamtauflösung. Darüber hinaus sorgt das System für maskenloses Direktschreiben und kann auch für Waferprojektion mit größeren Resistflächen verwendet werden. DAINIPPON SDW-80A-A bietet auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche. Auf diese Weise kann der Benutzer die Prozesse einfach steuern, Experimente schnell einrichten und Parameter mit einem Waferansichtsfenster ändern. Dies hilft bei der Maximierung der Produktivität sowie der Genauigkeit der Prozesse. Insgesamt ist SD-W80A-A eine fortschrittliche Photolackeinheit mit vielen Funktionen zur Optimierung des Lithographieprozesses. Die Maschine ist robust und hochpräzise und somit ideal für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen.
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