Gebraucht DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293714049 zu verkaufen
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ID: 293714049
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(3) Developer systems, 8"
1996 vintage.
DNS Screen DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP ist eine Fotolackausrüstung, die für die Herstellung hochkomplexer Kontakte und metallischer Folien entwickelt wurde. Es verwendet spezialisierte Belichtungs- und Chemietechnologie, um Photolack auf einen Wafer aufzubringen, um Kontaktmerkmale oder Kupfer-Metallisierungsmuster mit überlegener Präzision und Zuverlässigkeit zu bilden. Das System nutzt Deep-Ultraviolet (DUV) Lithographie für optimierte optische Bildgebung und kann eine Auflösung von bis zu 0,15 μ m erreichen. Es ist in der Lage, bis zu 125 Rezepte verschiedener Resist- und Chemie-Chemie für die einfache Implementierung von verschiedenen Prozessen zu speichern, so dass die Arbeitsparameter der Einheit für die Herstellung von komplizierten Eigenschaften zu optimieren. DNS SDW-80A-AVP ist auch mit einer fortschrittlichen Ausrichtmaschine ausgestattet, die ein optisches Mikroskop mit geringer Vergrößerung verwendet, um eine stabile, genaue Ausrichtung von Photomaske und Wafer zu gewährleisten. Sie ist sogar in der Lage, die Kontaktausrichtung innerhalb eines Merkmals oder zwischen zwei Linien bei der Bildung von sich kreuzenden Mustern zu überwachen. Für zusätzliche Sicherheit verfügt dieses Werkzeug über eine Sicherheitsabschaltung, die Schäden durch eine Überbelichtung des Wafers mit Licht verhindert. Das Design des Fotolackmodells umfasst mehrere Funktionen, um eine minimale Wartung und einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Der Tonerplattenreiniger besteht aus einer bürstenlosen motorgetriebenen Scheibe, die die Spinnplatte automatisch reinigt, und einer Zirkulationsausrüstung, die die Tonerflüssigkeit zur strikten Kontrolle der Reinheit der Reinigungschemie austauscht. Das Fensterglas des Systems ist auch mit einem Advanced Coating Film (ACF) Filter integriert, der sicherstellt, dass keine scharfen Partikel in die Kammer gelangen können. Die Kammer der Photolackeinheit verfügt über einen Niederspannungs-Ionisator mit speziellen staubfreien antistatischen Düsen, wodurch der innere Staub frei bleibt, indem eine konstante Spannung von -25kV aufrechterhalten wird. Um den Durchsatz zu verbessern und Verschmutzungen zu reduzieren, werden auch integrierte Last- und Prozesskammern eingesetzt. Insgesamt ist DAINIPPON Screen DAINIPPON SD W80A AVP eine effektive Fotolackmaschine, die für die Herstellung präziser Kontakt- und Metallisierungsmuster mit minimaler Wartung und Ausfallzeit ausgelegt ist. Die fortschrittlichen bildgebenden Systeme, das stabile Ausrichtwerkzeug und spezielle staubfreie Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für anspruchsvolle Anwendungen.
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