Gebraucht DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9227389 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ ist eine spezialisierte Photolackausrüstung für fortschrittliche lithographische Prozesse in der Halbleiterindustrie. Dieses System ist in der Lage, eine präzise Belichtung von Photoresists bereitzustellen, was höhere Ausbeuten bei der Verarbeitung von VLSI (Very-Large-Scale-Integration) -Chips ermöglicht. Die Einheit besteht aus zwei Komponenten, nämlich der Belichtungseinheit und dem Belichtungseinheit-Controller. Die Belichtungseinheit besteht aus einem Laserdioden-Array, das einen gleichmäßigen, monochromatischen Lichtstrahl auf einen Wafer emittieren kann. Dieses Licht wird dann von einem akustooptischen Modulator moduliert, der vom Benutzer gesteuert wird, um den Strahl für eine hochauflösende Abbildung zu formen. Ebenfalls enthalten sind ein Aufwärtstisch, ein Messinterferometer und eine Fokussierlinse. Der Exposure Unit Controller steuert die Exposure Unit über ein Bediener-Interface-Panel und enthält auch einen eingebetteten Mikrocomputer mit einem unabhängigen Prozessor, um die Parameter der Exposure Unit zu verwalten. DNS SD W80A AVQ-Maschine verfügt über mehrere erweiterte Funktionen für erhöhte Genauigkeit und Reproduzierbarkeit des Fotoresist-Bildgebungsprozesses. Es enthält eine Vielzahl von Algorithmen zur Bildverarbeitung für verbesserte Bildverarbeitungsfunktionen, einschließlich Fokuserkennung, Kantenmustererkennungsalgorithmen und Rauschreduzierungsalgorithmen. Darüber hinaus kann eine Reihe von benutzerdefinierten Filtern und Masken mit dem Asset verwendet werden, um das Belichtungsmuster zu verfeinern, um die Leistung des Fotolacks zu optimieren. Das Modell verfügt zudem über eine Autofokus-Funktion, die eine möglichst scharfe Bildauflösung ermöglicht. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle und präzise Korrektur der Belichtungseinstellungen bei Scanvorgängen für eine weitere verbesserte Auflösung. Darüber hinaus wurde das Gerät mit fortschrittlicher thermischer Stabilitätstechnologie entwickelt, die sicherstellt, dass das Laserdiodenarray während der Belichtung keine signifikanten Temperaturänderungen erfährt. Schließlich verfügt DAINIPPON SDW-80A-AVQ über eine breite Palette von Prozesssteuerungsoptionen mit insgesamt acht verschiedenen parametrischen Einstellungen. Dies ermöglicht den Anwendern eine flexible Steuerung vieler Aspekte des Lithographieprozesses, wodurch mit diesem System ein breites Spektrum an Materialien und Prozessen durchgeführt werden kann. Insgesamt ist DNS SDW-80A-AVQ eine fortschrittliche Photolackeinheit, die für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Es bietet ausgezeichnete bildgebende Genauigkeit und Auflösung sowie erweiterte Funktionen für eine optimale Prozesssteuerung. Mit seiner Fähigkeit, das Strahlmuster für die Bildgebung höherer Auflösung zu formen, seinen verbesserten Bildverarbeitungsalgorithmen und seiner breiten Palette von Prozesssteuerungseinstellungen ist es eine ideale Maschine für diejenigen, die eine präzise Bildgebung von Fotoresists suchen.