Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-200 #9256669 zu verkaufen
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DNS/DAINIPPON SK-200 Photoresist ist ein Hochleistungs-Bildgebungssystem, das für den Einsatz in den Märkten der Photomasken- und Waferherstellung entwickelt wurde. Es ist eine zweistufige Bildübertragungseinheit, die eine neutralisierte reine geometrische Strahlabgabemaschine mit einem Aufdampfverfahren für die Photolackbeschichtung kombiniert. Das Bildlieferwerkzeug von DNS SK-200 verwendet einen intensiven UV-Lichtstrahl, der neutralisiert wird, um sofort die ursprüngliche geometrische Form des Maskenmusters ohne Verzerrung an den Wafer zu liefern. Die Strahlabgabeeinrichtung verwendet auch Intrafeld- und Interfeldsteuerungsverfahren, um unabhängig von der Maskenmustergröße eine einheitliche Bildqualität zu erreichen. Das Aufdampfverfahren ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung von Photolack auf der Waferoberfläche ohne Über- oder Unterbelichtung. Dies ermöglicht eine konsistente Photoresist-Beschichtung über die gesamte Waferoberfläche, auch bei komplexem Musterdesign. Der photoresistbeschichtete Wafer wird dann einem UV-Laserstrahl hoher Intensität ausgesetzt und eine gleichmäßige Belichtungstiefe über den Wafer erreicht. DAINIPPON SK-200 ist in der Lage, eine präzise Auflösung des Submikromusters für Bilder höchster Qualität zu erreichen und eignet sich für alle Substrate einschließlich Mehrschichten und Photomasken. Es hat einen Wafergrößenbereich von 2 „bis 12“ und ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Umgebungen vom Labor bis zur Produktion konzipiert. SK-200 ist ein ausgezeichnetes Abbildungsmodell für die Photomasken- und Waferherstellung. Die Kombination der neutralisierten Strahlabgabe mit einem Aufdampfverfahren zur Photolackbeschichtung gewährleistet eine gleichmäßige Bildqualität und eine präzise Auflösung. Es eignet sich sowohl für Labor- als auch für Produktionsanwendungen und ist mit Funktionen ausgestattet, um die Automatisierung zu erleichtern und den Durchsatz zu maximieren.
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