Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-200W-AVP #9371671 zu verkaufen
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ID: 9371671
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
(2) Coater / (2) Developer system, 6"
(4) Open cassette load ports
Main controller
Plate
ADH
(10) HP
(5) CP / 2PCP
IFB
Chemical cabinet
Heater controller
Developer 1 and 2:
Developing nozzle: Spray nozzle
Top rinse: Single nozzle
Coater 1:
(4) PR Nozzles: R1-R4
EBR
Coater 2:
BARC
(3) PR Nozzles: R1-R3
EBR
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP ist eine hochmoderne Photolackanlage, die für den Einsatz in Halbleiterherstellungen konzipiert ist. Es handelt sich um ein einseitiges Beschichtungssystem, das in der Lage ist, eine präzise Schicht aus Photolackmaterial abzugeben, ohne dass eine stehende Welle erforderlich ist. Diese Einheit ist in der Lage, dünne Photolackschichten bis in den Submikronbereich abzugeben. DNS SK-200W-AVP ist mit einer speziell entwickelten Ausgabemaschine ausgestattet, die die Ausgabegeschwindigkeit und das Ausgabemuster der Photoresistmaterialien genau steuern kann. Dieses Tool wurde entwickelt, um eine Kombination aus Scheren, Ziehen und Mustern zu verwenden, um das gewünschte Ergebnis genau zu erzeugen. Die Anlage ist in der Lage, Genauigkeit bis zu 0,01 mm zu erreichen und ist in der Lage, Materialien so dünn wie 0,5 Mikrometer auszugeben. DAINIPPON SK-200W-AVP verwendet auch ein dynamisches Vision-Modell für die Bilderkennung. Dieses Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Photolackformen und -größen zu identifizieren und kann den Fotolack genau nach den erforderlichen Spezifikationen ausgeben. Dieses System ist auch in der Lage, Umweltveränderungen, die im Laufe der Produktion auftreten können, zu kompensieren. SK-200W-AVP ist auch mit einer Vielzahl von erweiterten Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Dazu gehören: gefahrlose Temperaturregelung, Luftfiltration und eine integrierte Sicherheitsverriegelungseinheit. Diese Verriegelungsmaschine bietet eine physikalische Barriere zwischen dem Bediener und dem Werkzeug während des Betriebs. Darüber hinaus ist das Asset mit einer automatisierten Modellabschaltfunktion ausgestattet, die sicherstellt, dass potenziell gefährliche Situationen ohne zusätzliche Eingriffe angegangen und vermieden werden können. Schließlich ist DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP außerordentlich benutzerfreundlich. Die intuitive, Touch-Panel-basierte Bedienoberfläche ermöglicht den schnellen Zugriff auf die gewünschten Funktionen oder Einstellungen. Darüber hinaus können die Kalibriereinstellungen für jeden Einzelfall einfach angepasst und bestätigt werden, was konsistentere Ergebnisse ermöglicht. Insgesamt ist DNS SK-200W-AVP eine hochentwickelte Photoresist-Ausrüstung, die hervorragende Ergebnisse in einer Vielzahl verschiedener Anwendungen liefert. Seine Präzisionssteuerung, dynamische Vision-Einheit und benutzerfreundliches Design machen es ideal für eine beliebige Anzahl von Halbleiterherstellungsprozessen.
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