Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-200W #9253733 zu verkaufen
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ID: 9253733
Wafergröße: 8"
Coater / Developer system, 8"
Coater and developer module
I/O Module with (4) carriers
Cool and hotplates
HH Plate: up to 350°C
(4) Photoresist pumps
(2) Developer lines.
DNS/DAINIPPON SK-200W ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Steigerung der Prozesseffizienz und Gleichmäßigkeit bei der Herstellung von Halbleiterscheiben. Dieses System wird hauptsächlich zum Spin-Coating und Backen von Fotolackfilmen in der Halbleiterproduktionsumgebung eingesetzt. DNS SK-200W verwendet leistungsstarke rotierende Sprühköpfe, um Wafer gleichmäßig mit einer dünnen Schicht aus Photoresist-Material zu beschichten. Nach der Schleuderbeschichtung werden die Wafer zur Aushärtung in einen Hochtemperatur-Infrarotofen gegeben. Der Ofen enthält spezielle UV-Lampenreinigungsstationen, um sicherzustellen, dass die Folie staubfrei ist. DAINIPPON SK 200W verwendet eine einzigartige Keramikheizungstechnologie, die eine gleichmäßige Erwärmung und genaue Temperaturregelung während des gesamten Spinn- und Backprozesses gewährleistet. Der Temperaturbereich des Ofens liegt zwischen 100 ° C - 250 ° C bei einer Toleranz von ± 2 ° C. Darüber hinaus verfügt DNS/DAINIPPON SK 200W über eine Steuereinheit, die Verschmutzungen während des Spinn- und Backprozesses automatisch überwacht. Mit dieser Maschine kann der Bediener bestimmen, wann der Fotoresistfilm ausgetauscht werden muss. DAINIPPON SK-200W ist einfach zu bedienen und erfordert eine minimale Wartung. Es ist mit einem farbigen Touchscreen-LCD-Display ausgestattet, das intuitive Menüs und eine visuelle Darstellung des aktuellen Betriebszustands bietet. SK 200W verfügt auch über automatische Kalibrierfunktionen und umfasst eine Vielzahl von Datenerfassungsfunktionen, die die Analyse vor Ort erleichtern. Insgesamt ist SK-200W ein leistungsfähiges, hochzuverlässiges Photolackwerkzeug für die Halbleiterindustrie. Es wurde mit fortschrittlicher Technologie entwickelt, um die Effizienz und Gleichmäßigkeit während des gesamten Prozesses zu maximieren. Die benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche und die automatisierten Funktionen zur Kalibrierung und Kontaminationserkennung helfen bei der Rationalisierung der Produktion und sorgen für optimale Ergebnisse.
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