Gebraucht DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP #195914 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP
ID: 195914
Coater / Developer System.
DNS/DAINIPPON SK-60A-BVP Photoresist-Ausrüstung ist ein fortschrittliches Lithographiesystem für hohe Volumenverarbeitungsfunktionen. Es ist ein einzelnes Waferwerkzeug, das in der Lage ist, eine Reihe von Substraten wie Quarz, Silizium und Glas zu verarbeiten. Das Gerät verwendet ein hochentwickeltes PECVD-Verfahren (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und eine Doppelbelichtungstechnik. Das Doppelbelichtungsverfahren ermöglicht die gleichzeitige Belichtung zweier unterschiedlicher Photolackschichten unter unterschiedlichen Winkeln. Dies führt zu einem verbesserten Wirkungsgrad und gleichmäßigeren Ätzcharakteristiken. DNS SK-60A-BVP verwendet einen Magnetschwebespinner und einen automatisierten Lader zur verbesserten Substratsteuerung. Es verwendet einen hochleistungsfähigen, 100kHz Laserstrahl für mehr Genauigkeit bei der Bildgebung und beim Schreiben. Die Maschine nutzt eine Vielzahl fortschrittlicher Bildgebungsoptiken mit einer maximalen Photonenbelichtungsenergie von bis zu 600W. Seine Kammer nutzt eine drucklose Umgebung und ein separates Werkzeug zur Kühlung der Kammer und des Substrats. DAINIPPON SK-60A-BVP verfügt über eine variable programmierbare Verschlussoptimierung, die präzise Ätzmuster ermöglicht und den Durchsatz erhöht. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Merkmalen zu produzieren, einschließlich kontaktloser Lochmuster, Ecklithographie und Belichtungskorrekturen. Das Asset verfügt auch über ein fortschrittliches Hotspot-Erkennungsmodell, das es ermöglicht, fehlerhafte Bereiche in Photoresists zu erkennen, was einen höheren Ertrag und weniger Defekte ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem fortschrittlichen Servosteuerungssystem für eine verbesserte Genauigkeit gegenüber Mehrfachbelichtungsprozessen ausgestattet und ermöglicht die Implementierung komplexer Geometrien. SK-60A-BVP ist ein sehr benutzerfreundliches Gerät mit einer intuitiven GUI und einfach zu bedienender Software. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale tragen zum Schutz von Personal und Ausrüstung bei. Es ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Branchen, einschließlich Halbleiter, medizinisches Gerät, Leiterplatte und MEMS-Technologien. Seine hohe Geschwindigkeit, Präzision und Genauigkeit machen es zu einer großen Wahl für Anwendungen mit hohem Volumen.
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